Диагностика капельной и ионной компонент лазерного эрозионного факела при напылении тонких пленок

СОДЕРЖАНИЕ
ГЛАВА 1. ЛАЗЕРНЫЙ ЭРОЗИОННЫЙ ФАКЕЛ И НАПЫЛЕНИЕ ТОНКИХ ПЛЕНОК ЛИТЕРАТУРНЫЙ ОБЗОР
1.1 Лазерная абляция, основные физические процессы образования и разлета эрозионного факела.
1.2 Модель углового распределения продуктов абляции.
1.3 Импульсное лазерное напыление в сравнении с другими методами
1.4 Исследование скоростей разлета компонент факела времяпролетными методами
1.4.1 Времяпролетная массспектрометрия
1.4.2 Времяпролетные измерения методом лазерноиндуцированой флюоресценции
1.4.3 Времяпролетная эмиссионная спектроскопия.
1.4.4 Метод зонда Ленгмюра.
1.4.5 Времяпролетные методы измерения скоростей разлета капель.
1.5 Выводы
ГЛАВА 2. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНАЯ УСТАНОВКА.
2.1 Лазер для абляции.
2.1.1 Лазер с кратковременной резонансной модуляцией потерь КРМГ1.
2.2 Схемы реализации метода импульсного лазерного напыления.
2.2.1 Напыление с использованием скоростного механического сепаратора частиц факела.
2.2.2 Метод пересекающихся факелов.
2.3 Метод осаждения капель на вращающийся диск
2.4 Схемы времяпролетных исследований факела зондом Ленгмюра
2.4.1 Схема исследования эрозионного факела
2.4.2 Схема исследования пучка, образованного пересекающимися
факелами от двух мишеней.
2.5 Выводы
ГЛАВА 3. ИССЛЕДОВАНИЕ ЭРОЗИОННОГО ФАКЕЛА ПРИ
ИМПУЛЬСНОМ ЛАЗЕРНОМ НАПЫЛЕНИИ ТОНКИХ ПЛЕНОК
3.1 Исследование динамики разлета микрочастиц при абляции
металлов и полупроводников
3.1.1 Распределение по скоростям капель кремния
3.1.2 Исследование скоростного распределения капель металлов.
3.1.3 Угловое распределение капель.
3.2 Селекция капель при импульсном лазерном напылении пленок
3.2.1 Скоростная механическая селекция капель при импульсном лазерном напылении пленок
3.2.2 Инерционная селекция капель, метод пересекающихся факелов
3.3 Абляция КРМПлазером
3.4 Зондовые исследования факела при абляции металлов в вакууме.
3.4.1 Скоростное распределение ионов эрозионного факела железа.
3.4.2 Зондовые исследования эрозионного факела хрома.
3.4.3 Зондовые исследования эрозионного факела при абляции марганца.
3.4.4 Зондовые исследования ионной компоненты факела олова.
3.4.5 Угловое распределение ионов в эрозионном факеле.
3.5 Зондовые исследования лазерного эрозионного факела при абляции кремния
3.6 Управление энергетическим спектром ионов в методе пересекающихся факелов
3.6.1 Зондовые исследования плазменного пучка, сформированного пересекающимися факелами
3.6.2 Угловая зависимость энергетического спектра отклоненного
3.7 Выводы
ГЛАВА 4. ИМПУЛЬСНОЕ ЛАЗЕРНОЕ НАПЫЛЕНИЕ ТОНКИХ ПЛЕНОК И НАНОРАЗМЕРНЫХ СТРУКТУР.
4.1 Напыление тонких пленок П9Бп, Ре, Сг, 8
4.2 Формирование многослойных структур субнанометровых толщин.
4.3 Напыление нанопористых и нанострукгурированных
пленок кремния
4.4 Магнитные полупроводниковые материалы на основе кремния.
4.5 Выводы
ЗАКЛЮЧЕНИЕ.,.
ЛИТЕРАТУРА