Ви є тут

Теоретические и прикладные вопросы создания бескорпусной вакуумной коммутационной аппаратуры и устройств вакуумной механики для многомодульного оборудования высоких технологий

Автор: 

Васин Владимир Анатольевич

Тип роботи: 

кандидатская

Рік: 

2000

Кількість сторінок: 

364

Артикул:

1000259405

179 грн

Додати в кошик

• 
• 
• 

Рекомендовані дисертації

• Моделирование и проектирование электронно-оптических систем оборудования для электронной литографии
• Построение исполнительных систем оборудования электронной техники на основе волнового движения
• Теоретические и экспериментальные исследования ионизационных преобразователей давления с целью расширения диапазона измерения и создания нового поколения высоковакуумных и сверхвысоковакуумных ионизационных преобразователей давления общего и специального
• Исследование и разработка пространственных колебательных систем для балансировки неуравновешенных роторов оборудования чистых производств
• Разработка перспективных методов литографии для получения рисунка на внутренней поверхности дефлектрона
• Теоретические и экспериментальные исследования ионизационных преобразователей давления с целью расширения диапазона измерения и создания нового поколения высоковакуумных и сверхвысоковакуумных ионизационных преобразователей давления общего и специального назначения
• Теоретические и экспериментальные исследования ионизационных преобразователей давления с целью расширения диапазона измерения и создания нового поколения высоковакуумных и сверхвысоковакуумных ионизационных преобразователей давления общего и специального
• Теоретические и экспериментальные исследования ионизационных преобразователей давления с целью расширения диапазона измерения и создания нового поколения высоковакуумных и сверхвысоковакуумных ионизационных преобразователей давления общего и специального
• Теоретические и экспериментальные исследования ионизационных преобразователей давления с целью расширения диапазона измерения и создания нового поколения высоковакуумных и сверхвысоковакуумных ионизационных преобразователей давления общего и специального
• Повышение надежности высоковакуумных механизмов на основе учета влияния обезгаживающего прогрева