Физико-технологические принципы создания тонкопленочных наноструктурных автоэлектронных микроприборов

СОДЕРЖАНИЕ
Введение
Глава 1. Анализ современного состояния и тенденций
развития вакуумных автоэлектронных микроприборов
1.1. Существующие конструктивнотехнологические
принципы создания автоэмиссионных катодов.
1.2. Вакуумные автоэлектронные микроприборы.
1.3. Автоэмиссионные наноструктуры
1.3.1. Автоэмиссионные матрицы из нанопроводов
1.3.2. Углероднонанотрубчатые автоэмиссионные матрицы
Цели и задачи исследования
Глава 2. Физикотехнологические принципы создания
наноструктурных автоэмиссионных матриц на основе тонких пленок вентильных металлов
2.1. Физикохимические основы создания автоэмиссионных матриц
2.2. Микрогеометрия и стехиометрия оксиднотитановых матриц
наноэмиттеров.
2.2.1. Методика проведения эксперимента.
2.2.2. Результаты электронной микроскопии.
2.2.3. Результаты ожеэлектронной спектроскопии.
2.3. Вольтамперные характеристики наноструктурных
автоэмиссионных матриц
Глава 3. Интегральная технология создания тонкоплночных
наноструктурных автоэлектронных микроприборов.
3.1. Технология изготовления автоэлектронных микротриодов
3.2. Базовые процессы анодного окисления тонкоплночных структур вентильных металлов.
3.2.1. Выбор оптимального режима процесса плотного
анодирования алюминия.
3.2.2. Процессы локального сквозного анодного окисления тонкоплночных структур вентильных металлов.
3.3. Электрофизические характеристики изоляционных
компонентов автоэлектронных микроприборов
3.3.1. Оборудование и методика проведения испытаний.
3.3.2. Методика изготовления тестовых структур и результаты
испытаний
3.4. Система межсоединений для наноструктурных
автоэлектронных микроприборов
3.4.1. Технология изготовления
3.4.2. Электрофизические характеристики.
3.4.3. Устойчивость к электромиграции.
Глава 4. Физические основы моделирования и расчта характеристик
наноструктурных автоэлектронных микроприборов
4.1. Постановка задачи
4.2. Математическое описание основных физических процессов.
4.3. Обсуждение полученных уравнений
4.4. Алгоритм анализа и расчета характеристик
автоэмиссионных структур и микроприборов.
Глава 5. Характеристики тонкоплночных наноструктурных
автоэлектронных микроприборов
5.1. Диодные структуры
5.2. Катодносеточные элементы
5.3. Триодные структуры.
5.3.1. Вольтамперные характеристики
5.3.2. Дифференциальные параметры.
5.3.3. Требования к вакууму.
5.3.4. Быстродействие.
5.3.5. Степень интеграции.
Заключение.
Литература