ОГЛАВЛЕНИЕ
ВВЕДЕНИЕ
ГЛАВА 1. Структура, основные свойства и методы получения
оксида цинка
1.1 Общая характеристика и структура оксида цинка.
1.2. Методы выращивания монокристаллов ХпО
1.3. Получение пленок.
1.4. Характерные монокристаллическому состоянию оксида цинка основные электрические и оптические свойства
1.5. Основные области применения оксида цинка в монокристалли
ческом состоянии.
ГЛАВА 2. Описание установки, методики получения пленок
2пО, подготовки поверхности подложек к их нанесению, изучения совершенства структуры и их некоторых свойств
2.1. Описание установки для получения пленок
2.2. Определение совершенства структуры и ориентации растущего слоя ЪпО электронографическим методом.
2.3. Методика предварительной подготовки и очистки поверхности подложек
2.4. Методика измерения электрических и люминесцентных свойств пленок и слоев оксида цинка.
ГЛАВА 3. Анализ процесса восстановления и транспорта оксида цинка в водороде и определение условий его кристаллизации.
3.1.Анализ условий восстановления ЪаО водородом и его транспорта
3.2. Влияние температуры и общего давления в системе на равнове
сие реакции, парциальные давления е компонентов
3.3. Влияние параметров реакции на относительной выход цинка в
, газовую фазу
3.4Степень дефектности 2пО, полученного из газовойфазы в атмосфере водорода
Выводы к главе 3Л
ГЛАВА 4. Зависимость электрических свойств пленок ЪпО от
условий получения
4.1. Степень влияния основных технологических параметров на электрические свойства пленок оксида цинка
4.2. Электрические свойства монокристаллического оксида цинка
Я 4.3. Характеристика электрических свойств оксида
цинкаполикристаллической структуры, получаемого из газовой
фазы в различных условиях
Выводы к главе 4.
ЗАКЛЮЧЕНИЕ.
ЛИТРАТУРА
Введение
Актуальность
- Київ+380960830922