Элементарные процессы на ступенях в кинетике эпитаксиального роста и легирования при сильных отклонениях от равновесия

Содержание
Введение
Глава 1. Элементарные процессы роста на проницаемых ступенях
I 1 Проницаемые и непроницаемые ступени
I 2 Основные положения и потенциальный рельеф для адатома на ступени
1 3 Коэффициенты встраивания и коэффициенты проницаемости вициналыюй ступени
I 4 Влияние нерегулярности распределения изломов
I 5 Условия проницаемости ступени Зависимость проницаемости ступени от температуры и скорости роста
1 6 Проницаемость прямолинейною се1 мента ступени
1 6 1 Механизм роста ряд за рядом
2 Кинетические коэффициенты
1 7 Заключение к главе I
Глава 2. Роль проницаемости ступени в начальной стадии перехода от двумерного к трехмерному росту
2 I АДеханизмы межслоевого переноса вещества при переходе от 2Э к росту
анализ литературных данных
2 2 Влияние проницаемости ступени па образование зародыша на поверхности
островка
2 3 Динамика ступеней двухуровневой пирамиды
2 4 .Моделирование перехода от к росту
2 5 Формирование многослойных островков Б и Ое на поверхности 1 7х
Роль неравновесных изломов
2 6 Заключение к главе 2
Глава 3. Кинетика образования зародышей и роста магических островков на реконструированной поверхности
3 I Особенности образования и роста островков на реконструированной поверхности анализ литературных данных
3 2 Режимы образования 2Е островков на реконструированной поверхности
3 2 I Кинетические уравнения
3 2 2 Результаты МонтеКарло моделирования
3 2 3 Влияние размера неэпитаксиальною кластера
3 2 4 Модель образования островков Б на поверхности Б 7х7
3 3 Формирование неравновесных изломов и кинетика роста магических островков
3 3 1 Кинетические уравнения и механизм роста ряд за рядом
3 3 2 Случай быстрой миграции адатомов вдоль края островка
3 3 3 Скейлинговые соотношения
3 3 4 МонтеКарло моделирование роста магических островков
3 4 Заключение к главе 3
Глава 4. Элементарные процессы на ступенях в кинетике легирования и поверхностной сегрегации примеси
4 I Модели поверхностной се регации примеси анализ литературных данных
4 2 Кинетика захвата примеси в изломах Квазнстационарное приближение
4 3 Краевая задача поверхностной диффузии примеси и ширина переходной концентрационной области легирования
1 Формулирование краевой задачи
4 3 2 Стационарный режим легировании
4 3 3 Ширина переходной концентрационной области
4 Ширина П КО при 6легировании
4 3 5 Ширина ПКО и коэффициент поверхностной сегрегации
4 4 Коэффициент захвата примеси изломом
4.5. Сравнение с экспериментальными данными
4.6. Учет диффузионной релаксации
4.7. Модель захвата примеси при росте по механизму образования островков .
4.7.1. Модель захвата примеси при одноуровневом росте
4.7.2. Зависимости ширины ПКО от температуры и скорости роста
4.8. Заключение к главе 4
Заключение
Литература