ВВЕДЕНИЕ
1 ИНФОРМАЦИОННЫЙ АНАЛИЗ МЕТОДОВ СИНТЕЗА И КОНТРОЛЯ АРАМЕТРОВ НАНОСТРУКТУРНЫХ МАТЕРИАЮВ
1.1 Технологические процессы синтеза нанообъектов
1.1.1 1 рименение лазерного излучения для синтеза наноструктур
1.1.2 Пиролитический синтез углеродных наноматериалов.
1.1.3 Электродуговой синтез фуллеренов
1.1.4 Плазмохимический метод синтеза нанообъектов.
1.1.5 Синтез нанообъектов в пламени.
1.2 Методы определения параметров наноразмерных объектов.
1.2.1 Электронная микроскопия.
1.2.2 Спектроскопические методы обнаружения и исследования веществ
1.2.3 Туннельная и атомносиловая микроскопия.
1.2.4 Средства измерений в нанометровом диапазоне.
1.3 Постановка задачи исследования и пути ее решения.
Выводы.
2 РАЗРАБОТКА МЕТОДИК ЭЛЕКТРОННОМИКРОСКОПИЧЕСКИХ ИССЛЕДОВАНИЙ СИНТЕЗИРУЕМЫХ НАНООБЪЕКТОВ
2.1 Разработка методики исследований для определения
гранулометрических параметров нанопорошков
2.1.1 Разработка методики электронномикроскопических
исследований углеродных наноматериалов.
2.2 Применение разработанной методики электронномикроскопических исследований для контроля синтезируемых нанообъектов в вакууме.
2.2.1 Электроду го вой синтез углеродных нанообъектов в вакууме.
2.2.2 Разработка методики получения заготовки тестобъекта.
2.3 Выбор технологической оснастки для осуществления процесса плазмохимического вакуумного синтеза нанообъектов.
2.4 Разработка шлюзового устройства вывода тестобъекта из вакуумной камеры
2.5 Разработка программного обеспечения для систематизации получаемых данных.
Выводы.
3 МЕТОД И РЕАЛИЗАЦИЯ УСТРОЙСТВА АКТИВНОГО КОНТРОЛЯ
НАНООБЪЕКТОВ В ПРОЦЕССЕ ИХ СИНТЕЗА
3.1 Разработка метода контроля нанообъектов в технологическом процессе синтеза
3.1.1 Математическое описание процесса напыления в вакууме для определения параметров подготовки тестобъекта
3.2 Автоматизация процесса подготовки тестобъекта в технолог ическом процессе вакуумного синтеза
3.3 Алгоритм автоматизации процесса получения тестобъекта для электронного микроскопа.
3.3.2 Компьютерная программа управления измерительноуправляющей системой
Выводы
4 ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНАЯ ПРОВЕРКА РАЗРАБОТАННОГО МЕТОДА
4.1 Исследование параметров синтеза нанообьектов в вакууме с
использованием разработанного метода
4.1.2 Адаптация предложенного метода контроля к плазменной технологии получения нанообъектов
4.2 Анализ погрешностей измерения гранулометрических параметров нанообъектов.
4.2.1 .Метрологические характеристики электронного микроскопа
4.2.2 Определение гранулометрических параметров наиообъектов с помощью электронного микроскопа.
4.3 Проверка адекватности математического описания процесса вакуумного напыления.
4.4 Оценка погрешностей результатов измерений.
Выводы.
ЗАКЛЮЧЕНИЕ.
СПИСОК ИСПОЛЬЗУЕМОЙ ЛИТЕРАТУРЫ
- Київ+380960830922