Анализ и синтез измерительных свойств микромеханических гироскопов, как класса информационно-измерительных систем

СОДЕРЖАНИЕ
СПИСОК ПРИНЯТЫХ СОКРАЩЕНИЙ
ВВЕДЕНИЕ
1. МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЕ ГИРОСКОПЫ КЛАСС ИНФОРМАЦИОННОИЗМЕРИТЕЛЬНЫХ СИСТЕМ.
1.1. Конструкции и принцип действия микрогироскопов
1.2. Свойства больших систем в переносе на микросистемы
1.3. Классификация гироскопических микросистем.
1.4 База данных чувствительных элементов гироскопических
микросистем
Выводы.
2. МАТЕМАТИЧЕСКОЕ ОПИСАНИЕ ГИРОСКОПИЧЕСКИХ МИКРОСИСТЕМ
2.1 Описание динамики чувствительных элементов гироскопических микросистем
2.2 Элементная база ЧЭ гироскопических микросистем.
2.2.1 Упругие элементы подвеса
2.2.2 Преобразователи силы и перемещений
2.2.2.1 Электростатические преобразователи силы.
2.2.2.2 Электростатические преобразователи перемещения
2.2.2.3 Эффект i в электростатических преобразователях
2.3 Демпфирование и добротность ЧЭ ГМС.
2.3.1. Добротность
2.3.2 Демпфирование.
Выводы.
3. АНАЛИЗ ДИНАМИКИ И ИЗМЕРИТЕЛЬНЫХ СВОЙСТВ ГИРОСКОПИЧЕСКИХ МИКРОСИСТЕМ
3.1 Инструменты и методы анализа динамики ГМС
3.2 Алгоритм экспрессанализа динамики ГМС.
3.3 Реализация алгоритма экспрессанализа динамики ГМС.
3.3.1 Модуль расчта параметров ЧЭ гироскопических микросистем.
3.3.2 Библиотека моделирования гироскопических микросистем
3.3.3. Сопоставимый анализ алгоритма экспрсссанализа.
3.3.4. Пример анализа ГМС.
Выводы.
4 СИНТЕЗ ГИРОСКОПИЧЕСКИХ МИКРОСИСТЕМ.
4.1 Обзор методов и инструментов проектирования ГМС
4.2 Алгоритм проектирования ГМС.
4.3. Пример проектирования ГМС
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ