Оглавление
Введение
Актуальность
Цель работы
Решаемые задачи
Научная новизна
Практическое значение
Глава 1
Методы контроля рельефа поверхности
1.1 Поверхностная профилометрия
1.2 Сканирующая зондовая микроскопия
1.3 Оптическая микроскопия
1.4 Электронная микроскопия
1.5 Выводы
Глава 2 .
Математическая модель
2.1 Математическая модель рельефа
2.2 Математическая модель системы формирования изображения 2.3 Математическая модель изображения рельефа
2.4 Постановка задачи
2.5 Выводы
Глава 3
Морфологическим анализ кривой измерения фокуса
3.1 Описание методов морфологического анализа
3.2 Форма кривой измерений фокуса
3.3 Проектор на форму кривой дисперсий
3.4 Примеры
3.5 Выводы
Глава 4
Адекватность модели и оценивание параметра формы
4.1 Модель регистрации сигнала
4.2 Нелинейная минимаксная оценка погрешности
4.3 Стохастическая модель измерения
4.4 Выводы
Глава 5
Реализация, применение, результаты
5.1 Аппаратура
5.2 Алгоритмы
5.3 Программная реализация
5.4 Активное освещение
5.5 Результаты
Заключение
Список литерату
- Київ+380960830922