Создание экологичных и виброустойчивых механических модулей высокопроизводительного оборудования для выращивания монокристаллического кремния

СОДЕРЖАНИЕ
ВВЕДЕНИЕ.
1. ОБЗОРНОЛНЛЛИТИЧЕСКИЕ ИССЛЕДОВАНИЯ В ОБЛАСТИ МЕХАНИЧЕСКИХ МОДУЛЕЙ ВЫСОКОПРОИЗВОДИТЕЛЬНОГО ОБОРУДОВАНИЯ ДЛЯ ВЫРАЩИВАНИЯ
МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ.
1.1 Кристаллизационные процессы выращивания монокристаллического кремния и их механическое обеспечение.
1.2 Классификация волновых резьбовых передач механических модулей ростового оборудования
1.3 Сравнительные исследования волновых резьбовых передач модулей оборудования для выращивания
монокристаллического кремния
2. ВОЛНОВЫЕ МОДУЛИ РОСТОВОГО ОБОРУДОВАНИЯ ВЫРАЩИВАНИЯ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ
2.1 Волновые зубчатые передачи ростового оборудования
2.2 Исследование высокоточных устройств перемещения слитков монокристаллического кремния на базе волновых резьбовых передач и вводов
2.3 Аналитические выражения составляющих погрешностей положения ведомого звена волновой резьбовой передачи
3. МОДЕЛИ ФОРМИРОВАНИЯ ПРИВНОСИМОЙ ДЕФЕКТНОСТИ ОТ МОДУЛЕЙ ПЕРЕМЕЩЕНИЯ В ТЕХНОЛОГИЧЕСКОМ ОБЪЕМЕ РОСТОВОГО ОБОРУДОВАНИЯ
3.1 Энергетический баланс в зоне трения модулей
перемещения ростового оборудования
3.2 Модели трения и износа в условиях технологических вибраций .
3.3 Расчет элементов модулей перемещения на привносимый уровень загрязнений в технологический агрегат
3.4 Примеры расчета на привносимый уровень загрязнений для
модулей перемещения типа винт гайка
4. ВИБРОЗАЩИТНЫЕ МОДУЛИ РОСТОВОГ О ОБОРУДОВАНИЯ
4.1. Виброзащитные модули ростового оборудования
с одной степенью свободы.
4.2. Математическая модель виброзащитного модуля ростового оборудования на шесть степеней свободы
4.3. Анализ расчетов на ЭВМ многостепенных
виброзащитных модулей
ЗАКЛЮЧЕНИЕ.
СПИСОК ИСПОЛЬЗОВАННЫХ ИСТОЧНИКОВ