Электронные блоки для интегральных акселерометров прямого измерения и компенсационного типа

ОГЛАВЛЕНИЕ
ВВЕДЕНИЕ
1. ОБЗОР СУЩЕСТВУЮЩИХ МЕТОДОВ И УСТРОЙСТВ ДЛЯ
ИЗМЕРЕНИЯ ПЕРЕМЕЩЕНИЯ
1.1. Физические эффекты, применяемые для измерения перемеще 1
1.2. Обзор методов измерения угловых перемещений и их произвол
Выводы
2. РАЗРАБОТКА ЭЛЕКТРОННЫХ БЛОКОВ ДЛЯ ИНТЕГРАЛЕ
НЫХ ДАТЧИКОВ.
2.1. Генераторный емкостный датчик перемещений.
2.2. Емкостный преобразователь перемещений.
2.3. Синхронный детектор в составе емкостного преобразователя
перемещений
2.4. Магнитоэлектрический преобразователь силы момента
Выводы
3. АНАЛИЗ СВОЙСТВ КОМПОНЕНТОВ ЭЛЕКТРОННОГО
БЛОКА И МЕТОДИКА ВЕРОЯТНОСТНОЙ ОЦЕНКИ ПОГРЕШНОСТЕЙ ИНТЕГРАЛЬНЫХ ДАТЧИКОВ.
3.1. О фильтрующих свойствах синхронной модуляции демодуля
3.2. Вероятностная оценка погрешностей электронных схем на
примере интегрального акселерометра
3.3. Анализ применимости фильтров низких частот в микроэлек
тромеханических системах.
Выводы
4. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЕ ИССЛЕДОВАНИЯ ЭЛЕКТРОН
НЫХ БЛОКОВ.
4.1. Методика компьютерной обработки результатов испытаний
интегральных акселерометров
4.2. Результаты экспериментальных исследований.
Выводы.
Список принятых обозначений
Заключение.
ЛИТЕРАТУРА