СОДЕРЖАНИЕ
ВВЕДЕНИЕ
ГЛАВА 1. ТВЕРДОТЕЛЬНЫЕ ДАТЧИКИ ГАЗОВ
1.1. Общие требования к конструкциям датчиков газов.
1.2. Конструкции толстопленочных датчиков газов
1.3. Конструкции тонкопленочных датчиков газов.
1.4. Технологические способы получения пленок диоксида олова
1.4.1. Окисление слоев металлического олова
1.4.2. Гидролиз растворов хлорного олова.
1.4.3. Метод магнетронного напыления.
ВЫВОДЫ К ГЛАВЕ 1.
ГЛАВА 2. РАЗРАБОТКА ТЕХНОЛОГИИ ИЗГОТОВЛЕНИЯ И ИССЛЕДОВАНИЕ ГАЗОЧУВСТВИТЕЛЬНЫХ СВОЙСТВ ГАЗОВЫХ ДАТЧИКОВ.
2.1. Конструкции кристаллов газовых датчиков.
2.2. Технологические маршруты изготовления кристаллов газовых датчиков.
2.3. Технологические маршруты сборки кристаллов газовых датчиков
в корпуса.
2.4. Термообработка и газочувствительные свойства пленок Бп в составе газовых датчиков.
ВЫВОДЫ К ГЛАВЕ 2.
ГЛАВА 3. ИССЛЕДОВАНИЕ ТЕПЛОФИЗИЧЕСКИХ СВОЙСТВ И УСТОЙЧИВОСТИ КОНСТРУКЦИЙ ГАЗОВЫХ ДАТЧИКОВ К МЕХАНИЧЕСКИМ ВОЗДЕЙСТВИЯМ
3.1. Тепловые характеристики элементов датчика.
3.2. Анализ распределения тепловых потоков в конструкции датчика
3.2.1. Излучение.
3.2.2. Конвекция
3.2.2. Теплопередача
3.3. Экспериментальное определение тепловых потерь в конструкции газового датчика
3.3.1. Статический режим электропитания нагрева.
3.3.2. Импульсный режим электропитания нагрева
3.4. Устойчивость к механическим воздействиям различных конструкций газовых датчиков
3.4.1. Объекты и методика исследования устойчивости к механическим воздействиям конструкции газовых датчиков.
3.4.2. Вибрационное воздействие.
3.4.3. Воздействие одиночных ударов многократного действия и однократных ударов
ВЫВОДЫ К ГЛАВЕ 3.
ГЛАВА 4. ИССЛЕДОВАНИЕ СТАБИЛЬНОСТИ ЭЛЕМЕНТОВ КОНСТРУКЦИИ ГАЗОВОГО ДАТЧИКА.
4.1. Испытательный стенд для исследования стабильности свойств элементов конструкции датчиков газа под воздействием энергоциклов
4.2. Режимы испытаний датчиков газа
4.3. Результаты исследования стабильности свойств элементов конструкции датчиков газа при импульсном режиме работы
4.4. Результаты исследования стабильности свойств элементов конструкции датчиков газа при непрерывном режиме работы
ВЫВОДЫ К ГЛАВЕ 4.
ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ РАБОТЫ.
СПИСОК ИСПОЛЬЗОВАННЫХ ИСТОЧНИКОВ
- Київ+380960830922