Исследование закономерностей формирования и модификации волнообразного нанорельефа на кремнии и в тонких пленках на основе кристаллического и аморфного кремния

Введение
Глава 1. Ионнопучковые методы самоформирования наноструктур и нанорисунка на поверхности полупроводниковых материалов
1.1. Литография нового поколения и процессы самоформирования объектов нанометрового масштаба на поверхности полупроводниковых материалов
1.2. Ионнопучковые методы самоформирования наноструктур на поверхности полупроводников.
1.3. Анизотропный периодический микрорельеф на поверхности кремния, инициируемый ионной бомбардировкой.
1.4. Волнообразный нанорельеф в системе Ыг .
1.5. Анализ модельных представлений о природе анизотропного периодического микрорельефа и задачи исследования.
Глава 2. Исследование закономерностей морфологии волнообразного нанорельефа и динамики процесса его образования при бомбардировке поверхности кремния ионами азота
2.1. Зависимость морфологии волнообразного нанорельефа на поверхности кремния от энергии, угла бомбардировки и
дозы ионов азота
2.2. Внутреннее строение волны волнообразного нанорельефа
2.3. Зависимость морфологии волнообразного нанорельефа от температуры.
2.4. Факторы, замедляющие динамику процесса образования волнообразного нанорельефа
2.5. Факторы, ускоряющие динамику процесса образования волнообразного нанорельефа
Глава 3. Волнообразный нанорельеф в слоях аморфного кремния
и на поверхности различных материалов.
3.1. Сравнительная характеристика морфологии волнообразного нанорельефа и динамики его образования в слоях аморфного кремния различного типа
3.2. Зависимость морфологии волнообразного нанорельефа на аморфном кремнии от угла бомбардировки и энергии
ионов азота.
3.3. Перенос волнообразного нанорельефа из слоя аморфного кремния на поверхность различных материалов
3.4. О природе волнообразного нанорельефа.
Глава 4. Модификация волнообразного нанорельефа в тонких
пленках на основе монокристаллического и аморфного кремния
4.1. Формирование кремниевых нанопроволок на материале кремний на диэлектрике
4.2. Модификация волнообразного нанорельефа на поверхности монокристаллического и аморфного кремния жидкостным травлением
4.3. Формирование нанотренчей на основе волнообразного нанорельефа с помощью плазмохимического травления.
4.4. Модификация волнообразного нанорельефа на
монокристаллическом и аморфном кремнии в двухстадийном процессе плазмохимического и жидкостного травления.
4.5. Области потенциального применения волнообразного нанорельефа.
Заключение
Литература