Исследование электропроводности полупроводниковых и диэлектрических сред с помощью методов математического моделирования

ОГЛАВЛЕНИЕ
Список принятых сокращений
Введение.
Глава 1. ОБЗОР МОДЕЛЕЙ ЭЛЕКТРОПРОВОДНОСТИ ПОЛУПРОВОДНИКОВ И ДИЭЛЕКТРИКОВ.
1.1. Модели электропроводности диэлектриков
1.2. Модели элскфопроводности полупроводников
Глава 2. КРИТЕРИИ ПРИМЕНИМОСТИ ПРИБЛИЖЕНИЯ СЛАБОЙ
ГЕНЕРАЦИИ В МЕТОДЕ НАВЕДЕННОГО ТОКА.
2.1. Модель динамики неравновесных носителей, индуцированных электронным пучком в объеме полупроводника.
2.2. Методика построения численного решения системы уравнений динамики неравновесных носителей в объеме полупроводника
2.3. Критерии применимости приближения слабой генерации для однородного полупроводника
2.4. Критерии применимости приближения слабой генерации для полупроводника при наличии одномерных дефектов дислокаций.
2.5. Моделирование ЕВ1Скопграста в присутствии незаряженных линейных дефектов.
Глава 3. МОДЕЛИРОВАНИЕ ДИНАМИКИ НЕРАВНОВЕСНЫХ НОСИТЕЛЕЙ ЗАРЯМ В ОБЪЕМЕ ДИЭЛЕКТРИКА, ОБЛУЧЕННОГО
ЭЛЕКТРОННЫМ ПУЧКОМ
3.1. Математическая модель динамики неравновесных носителей в объеме диэлектрика.
3.2. Основные закономерности динамики индуцированных электронным пучком неравновесных носителей в объеме диэлектрика
3.3. Влияние электрических полей на диффузию протонов в резистах с химическим усилением.
3.4. Методика численного расчета влияния заряженной мишени на отклонение пучка в боковом направлении
3.5. Аналитическая оценка влияния величины потенциала поверхности мишени на отклонение пучка в боковом направлении.
3.6. О динамике нулевого потенциала на поверхности образца резист, металл, подложка по окончании электронного облучения
Глава 4. АНАЛИЗ ВЛИЯНИЯ ТЕРМОЭЛЕКТРЕТНОГО ЭФФЕКТА
НА ПРОЦЕССЫ РАЗРЯДКИ ДИЭЛЕКТРИКОВ, ОБЛУЧЕННЫХ
ЭЛЕКТРОННЫМ ПУЧКОМ
4.1. Расчет температу рных полей, возникающих при электроннолучевом облучении образцов.
4.2. Модифицированное уравнение Пуассона в среде с термоэлектретными свойствами
4.3. Анализ влияния термоэлектретного эффекта на процесс разрядки диэлектрического слоя, облученного электронным пучком
4.4 Способы практического приложения термоэлектретного эффекта
Заключение и выводы.
Литература