Введение
1 Современное состояние сканирующей близкопольной микроскопии
1.1 Историческая справка.
1.2 Классическая оптическая микроскопия
1.3 Близкопольная оптическая микроскопия
1.4 Оптоволоконный зонд.
1.4.1 Коэффициент пропускания апертурного зонда .
1.5 Обратная связь на основе
1.5.1 Модель образного резонатора
1.6 Реализация системы детектирования
1.6.1 Численное моделирование.
1.6.2 Петля обратной связи
1.7 Режимы работы микроскоиа.
1.8 Альтернативные оптические схемы
1.9 Современные приложения
2 Разработка технологии изготовления оптоволоконных зондов с металлизированным покрытием на основе V и А1
2.1 Основные требования к конструктивным и физическим параметрам
оптоволоконных зондов
2.2 Технологии формирования заостренною кончика оптоволокна методом
химическою травления.
2.3 Технология нанесения металлического покрытия на заостренное оптоволокно
2.4 Теоретическая модель распространения света в заостренном металлизированном оптоволокне
2.4.1 Введение.
2.4.2 Теория.
2.4.3 Моды диэлектрического волновода с бесконечным металлическим покрытием
2.4.4 Оптические моды и цилиндрический волновод
2.4.5 Моды диэлектрического волновода с металлическим покрытием
конечной толщины.
2.4.6 Заключение.
2.5 Практический контроль параметров оптоволоконного зонда
2.6 Выводы
3 Разработка близкопольного сканирующего зондового микроскопа на базе инвертированного оптического микроскопа 1X с системой плоскопараллельного сканирования
3.1 Основные требования к конструкции и параметрам близкополыюго оптического микроскопа.
3.2 Общая схема прибора
3.3 Устройство головки.
3.4 Устройство плоскопараллсльного сканирования с датчиками перемещения и системой обратной связи
3.5 Устройство лазерного модуля .
3.6 Устройство фотоприемиого модуля
3.7 Устройство спектрального модуля
3.8 Выводы
4 Тестовые образцы для исследования основных характеристик близкопольного сканирующего микроскопа
4.1 Измерение молекул ДНК в резонансном режиме .
4.2 Измерения оптической ромбовидной решетки в БОМ режиме для опре
деления пространственного оптического разрешения и оптического контраста
4.3 Измерения люминесценции латексных шариков размером 0 пт в БОМ
и режиме.
4.4 Выводы
5 Разработка технологии формирования наноструктур фотохимическими методами локального светового воздействия на образец при помощи Близконольного сканирующего микроскопа
5.1 Физикохимическая модель локального светового воздействия на светочувствительные образцы
5.2 Исследование процесса локальной засветки
близкопольным зондом позитивного фоторезиста
5.3 Оценка основных парметров произведенной модификации литографии поверхности.
5.4 Выводи.
Приложение А
Литература
- Київ+380960830922