Метод реактивного ионно-лучевого синтеза тонких пленок непосредственно из пучков ионов

Введение. Общая характеристика работы.
Глава 1.
Введение.
2.
4.
Выводы. Глава 2.
2.
Выводы. Глава 3.
2.
4.
Выводы.
Анализ методов осаждения и свойств тонких пленок, используемых в технологии микроэлектроники. Ионнолучевая обработка в технологии м икроэлектро ники.
Общая характеристика основных типов технологических ионных источников.
Методы осаждения тонких пленок.
Анализ свойств алмазоподобных пленок, полученных различными методами.
Влияние параметров процесса получения на свойства алмазоподобных пленок.
Исследование электрофизических параметров ионного источника с замкнутым дрейфом электронов РадикалМ0,
Экспериментальное технологическое оборудование и методика проведения экспериментов.
Исследование ионнооптической системы источника ионов РадикалМ0
Нейтрализация низкоэнергетичных широких пучков ионов высокой интенсивности.
Зависимость процесса обработки от технологических параметров.
Исследование процесса нанесения тонких пленок непосредственно из пучков ионов.
Исследование процесса очистки поверхности пучками ионов инертных и химически активных веществ. Исследование зависимости распределения
плотности тока пучка вдоль диаметра пучка от технологических параметров.
Модель механизма реактивного ионнолучевого синтеза тонких пленок непосредственно из пучков ионов.
Глава 4.
2.
4.
Выводы. Глава 5.
2
Выводы.
Исследование свойств тонких пленок, полученных осаждением непосредственно из пучков ионов.
Методика исследования свойств и осаждения тонких пленок из пучков ионов углеводородов и кремнийорганических соединений.
Исследование свойств тонких пленок, полученных осаждением из пучков ионов углеводородов. Исследование свойств тонких пленок, полученных осаждением из пучков ионов кремнийорганических соединений.
Анализ свойств тонких пленок, полученных осаждением из пучков ионов углеводородов и кремнийорганических соединений.
Практическое применение метода реактивного ионнолучевого синтеза для создания структур твердотельной электроники.
Формирование просветляющих покрытий элементов солнечных батарей.
Комфорное запыление тренчей.
Заключение.
Список цитируемой литературы