Разработка конструкции и технологии микроэлектронных приборов точного измерения параметров газовых сред

Содержание.
ГЛАВА 1.Аналитический обзор литературы.
1.1.Значение измерений свойств и параметров газовых сред.
1.2.Материалы, конструкции и математические модели терморезисторов
1.2.1.Свободная и остеклованная проволока
1.2.2.Тонкопленочная и мембранная конструкция
1.2.3.Кремниевая нанообъемная конструкция
1.3.Приборное применение терморезисторов.
1.3.1.Термометры сопротивления.
1.3.2.Термоанемометр ы.
1.3.3.Датчики теплопроводности хроматографов.
Выводы по главе 1
ГЛАВА 2.Физико математическая модель нанообъемного нагревателя
2.1. Дифференциальное уравнение теплопроводности в сферических
координатах
2.2.0дномерная и двумерная задачи теплопроводности.
Выводы по главе 2
ГЛАВА З.Нанообъемный терморезистор, как инструмент
исследования свойств газов.
3.1.Преимущества монокристаллического кремния в качестве материала чувствительного элемента.
3.2.Моделирование геометрической формы.
3.3. Технология изготовления нанообъемных терморезисторов
3.4.Модель тепловой инерционности
3.5.Схема автоматического регулирования
3.5.1.Аналоговая схема поддержания постоянной температуры микронагревателя.
3.5.2.Схема микропроцессорной обработки
Выводы по главе 3
ГЛАВА 4.Исследование свойств газов в микросистемах.
4.1 .Температурная зависимость теплопроводности
4.2.Влияние давления и состава газа
4.3.Конвективная устойчивость
4.4.Термофорез в плотном газе
4.5.Тепловая детурбулизация потока.
Выводы по главе 4
ГЛАВА 5.Разработка приборов, метрологические характеристики, натурные испытания и внедрение.
5.1.1.Термоанемометр для малых расходов газов
5.1.2.Автомобильный датчик массового расхода воздуха.
5.1.3.Измерительная часть системы обнаружения мест утечки осушенного воздуха в магистральных телефонных кабелях.
5.2.Датчики по теплопроводности для хроматографов
5.3.Термокондукционный миниатюрный газоанализатор.
Выводы по главе 5.
Общие выводы по работе
Заключение
Список литературы