Разработка методов и средств повышения эффективности действия турбомолекулярных насосов в составе вакуумных систем оборудования электронной техники

Введение.
Глава 1. Вакуумные системы современного технологического и физикоаналитического оборудования электронной техники на основе турбомолекулярных насосов. 1.1 Общая характеристика.
1.2 Вакуумнотермическая обработка приборов вакуумной электроники с использованием высоковакуумных турбомолекулярных насосов.
1.3 Оборудование ионной имплантации.
1.4 Оборудование для осаждения плнок из сепарированных ионных потоков.
1.5 Оборудование для осаждения плнок методом ионного распыления.
1.6 Физикоаналитическое оборудование электронной техники.
1.7 Магистральномодульный комплекс сверхвысоковакуумной лучевой технологии.
1.8 Массспектрометрический гелиевый течеискатель на основе турбомолекулярного насоса.
Выводы по главе 1.
Глава 2. Анализ работ по исследованиям и разработке турбомолекулярных насосов. 2.1 Обзор теоретических и прикладных вопросов создания турбомолекулярных насосов.
2.2 Классификация турбомолекулярных насосов по конструктивному выполнению их основных узлов.
2.3 Ступени турбомолекулярных насосов.
2.4 Возникновение откачивающего действия у движущихся и неподвижных наклонных каналов ступеней турбомолекулярных насосов.
2.5 Оценка прочности роторных ступеней турбомолекулярных насосов.
2.6 Обсуждение работ по теоретическим и прикладным вопросам создания турбомолекулярных насосов.
Выводы по главе 2.
Глава 3. Вопросы теории, расчта и конструирования турбомолекулярных насосов. 3.1 Графоаналитическая модель переноса молекул газа через каналы, роторной ступени турбомолекулярного насоса.
3.2 Метод расчта вакуумных характеристик проточной части ТМН без учта потоков газовыделений с е рабочих поверхностей.
3.3 Анализ закономерностей процесса откачки газа турбомолекулярным насосом.
3.4 Быстрота действия ТМН по смеси газов.
Выводы по главе 3.
Глава 4. Расчт проточной части ТМН. 4.1 Принцип оптимизации вакуумных параметров ТМН.
4.2 Методика расчта оптимальной проточной части ТМН.
4.3 Исследование вакуумных характеристик ТМН для различных условий работы.
Выводы по главе 4.
Глава 5. Экспериментальные исследования турбомолекулярных высоко вакуумных насосов 5.1. Становление и развитие методов экспериментальных исследований
5.2 Методика испытаний вакуумных характеристик ТМН.
5.3 Экспериментальное оборудование. Результаты испытаний.
5.4 Оценка точности и воспроизводимости измеренных величин.
5.5 Получение безмасляного вакуума при помощи ТМН, имеющего масляные опоры вращения роторных ступеней, и масляный форвакуумный насос.
Выводы по главе 5.
Заключение.
Список литературы