Содержание
Содержание.
ВВЕДЕНИЕ.
1. АНАЛИЗ ПРОБЛЕМЫ И ОСОБЕННОСТЕЙ ТЕПЛОВОЙ УСТОЙЧИВОСТИ МАЛОРАЗМЕРНЫХ СИСТЕМ
1.1 ПРОБЛЕМА ВЛИЯНИЯ РАЗМЕРОВ И ФОРМЫ СИСТЕМ 1ЮНИЖБННОЙ
РАЗМЕРНОСТИ НА ИХ ФИЗИЧЕСКИЕ И ХИМИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА.
1.2 РОБЛЕМЫ ВНЕДРЕНИЯ НАНОТЕХНОЛОГИЙ В СФЕРУ
МАТЕРИАЛЬНОГО ПРОИЗВОДСТВА
1.3 ШАВЛЕНИЕ МАКРООБЪЕКТОВ
1.3.1 Исследование плавления граней кристалла свинца Мс1, с помощью
метода рассеивания срсднсэнергстическими ионами
1.3.2 Обратное рассеяние от расплавляемой поверхности.
1.3.3 Плавление поверхности свинца 0
1.3.4 Неплавящаяся поверхность свинца 1.
1.4 ТЕРМОДИНАМИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА МАЛОРАЗМЕРНЫХ ОБЪЕКТОВ
1.4.1 Поверхностное плавление.
1.4.2 Плавление тонких пленок меди
1.4.3 Кинетика низкотемпературного процесса плавления тонких пленок меди
1.5 ЭЛЕКТРОМИГРАЦИЯ В ТОНКИХ ПЛЕНКАХ.
ВЫВОДЫ ПО ГЛАВЕ 1.
2. ТЕХНИКА ЭКС1ЕРИМЕНТА И ОСОБЕННОСТИ ЕГО ПРОВЕДЕНИЯ.
2.1 ПОДГОТОВКА И ВИДЫ ОБРАЗЦОВ ДЛЯ ПРОВЕДЕНИЯ
ЭКСПЕРИМЕНТОВ.
2.2 МЕТОДЫ ПОЛУЧЕНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК.
2.2.1 Нанесение диэлектрических пленок.
2.3 КОНТРОЛЬ ТОЛЩИНЫ ПРИ И ПОСЛЕ АНЕСЕНИЯ ТОНКИХ ПЛЕ1ЮС
2.3.1 Контроль толщины напыляемых пленок с помощью кварцевого измерителя.
2.3.2 Измерение толщины пленок с помощью микроинтерферометра Линника .
2.3.3 Методика определения толщин тонких пленок при помощи сканирующей зондовой микроскопии.
2.4 МЕТОДИКА ДЛЯ АТО КОНТРОЛЯ ТЕМПЕРАТУРЫ ПЛАВЛЕНИЯ
ТОНКИХ ПЛЕНОК МЕТАЛЛОВ НА ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПОДЛОЖКАХ.
2.4.1 Общее описание установки для определения плавления тонких проводящих пленок
2.4.2 Измерительный комплекс для измерения сопротивления в ходе нагрева в вакууме
2.4.3 Метод сканирующей или растровой микроскопии
3. . НИЗКОТЕМПЕРАТУРНОЕ ПЛАВЛЕНИЕ ТОНКИХ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ
ПЛЕНОК.
3.1 ПЛАВЛЕНИЕ ТОНКИХ ПЛЕНОК.
3.2 АНАЛИЗ ПРОЦЕССА ПЛАВЛЕНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК.
3.2.1 Участие поверхности в процессах плавления и кристаллизации.
Гетерогенное плавление. Некоторые вопросы терминологии.
3.2.2 Понижение температуры плавления для тонких плнок малой толщины
3.2.3 Явление гетерогенного плавления
3.2.4 Поведение тонких пленок на инертных поверхностях
3.2.5 Выявление влияния размера зерна на кинетику плавлениядиспергирования тонких поликристалличсских пленок меди
3.2.6 Механизм диспергирования тонких пленок на инертных поверхностях
3.2.7 Плавление тонких пленок кремния.
ВЫВОДЫ ПО ГЛАВЕ 3.
4. ПУТИ ПОВЫШЕНИЯ СТАБИЛЬНОСТИ МЕДНЫХ НАНОРАЗМЕРНЫХ ПРОВОДНИКОВ ПРИ ВОЗДЕЙСТВИИ НА НИХ ЭЛЕКТРИЧЕСКОЙ МОЩНОСТИ
ВЫВОДЫ ПО Г ЛАВЕ 4
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
Список литературы
- Київ+380960830922