Микроструктура и свойства тонких пленок аморфного гидрогенизированного сплава кремния с углеродом

Оглавление
Введение
Глава 1. Современные представления о микроструктуре аморфного гидрогенизированпого сплава кремния с углеродом.
1.1. Приборы на основе сплава аСН.
1.2. Формирование плнок аШ и аБКдН
1.2.1. Методы получения аБЮН.
1.2.2. Закономерности формирования пленок сплава аСН в плазме ТР
1.2.2.1. Реакции в газовой фазе.
1.2.2.2. Реакции на поверхности
1.3. Микроструктура и свойства аСН
ф 1.3.1. Микроструктура и оптические свойства
1.3.2. Микроструктура и электрофизические свойства.
1.4. Общая теория колебательных свойств
1.4.1. Поведение атомов примеси в аморфном кремнии.
1.4.2. Методы изучения микроструктуры и колебательных свойств сплава а8ЮН
1.4.2.1. Просвечивающая электронная микроскопия ПЭМ
1.4.2.2. Спектроскопия комбинационного рассеяния света КРС
1.4.2.3. Инфракрасная спектроскопия ИКС
ф 1.5. Выводы по главе 1.
Глава 2. Метод получения и методики исследования микроструктуры тонких плнок НЧ ПХО аСН.
2.1. Технология осаждения а8ЮН методом НЧ ПХО.
2.2. Методика исследования микроструктуры аСН с помощью ИК спектроскопии
2.2.1. Анализ ИК спектров. Качественный анализ структуры материала по ИК спекгру
ф Стр.
2.2.2. Количественный анализ структуры материала но ИК спектрам.
2.2.3. Погрешности метола ИКС.
2.3. Экспериментальные методы исследования состава и структуры.
2.3.1. Атомная силовая микроскопия АСМ
2.3.2. Спектроскопия обратного рассеяния Резерфорда СОРР
2.4. Методы измерения оптических и электрофизических свойств тонких пленок аБСН
2.4.1. Методика измерения темновой проводимости.
2.4.2. Прямой метод измерения коэффициента оптического поглощения
ф 2.4.3. Определение коэффициента оптического поглощения методом постоянного фототока
2.4.4. Методика измерения и моделирования фотопроводимости
2.5. Выводы но главе 2.
Глава 3. Исследование свойств тонких плнок НЧ X0 аСН
3.1. Химический состав плнок
3.2. Исследование микроструктуры плнок 4 X0 а8СН с помощью ИК спектроскопии.
3.2.1. Влияние химического состава газовой смеси на микроструктуру пленок НЧ ГХО а8СН
3.2.2. Влияние температуры подложки на микроструктуру пленок
3.3. Разработка методики определения состава сплава ахСу12 с использованием данных СОРР и ИКС.
3.4. Морфология поверхности пленок НЧ ПХО а8СН. Влияние химического состава и температуры подложки.
3.5. Оптические и электрофизические свойства тонких пленок НЧ ПХО аБЮН
3.5.1. Определение оптических и электрофизических свойств тонких пленок НЧ ПХО а8СН
3.5.2. Плотность состояний в НЧ ПХО аСН
3.6. Выводы по главе 3
Глава 4. Микроструктура и свойства тонких плнок 4 X0 аБЮН
4.1. Термодинамические расчты химических реакций в плазме Н4СН4
4.2. Исследование микроструктуры плнок 4 X0 аС переменного состава с помощью расчтов по ХИМ и приближении МСС
4.3. Применение модели свободной энергии МСО для исследования микроструктуры плнок НЧ X0 а8ЮН
4.3.1. Влияние концентрации углерода на микросгруктуру плнок
НЧ X0 аБЮН
4.3.2. Исследование влияния температуры подложки на микроструктуру плнок НЧ ПХО аСН.
4.4. Разработка принципов усовершенствования технологии получения плнок НЧ X0 аСН приборною качества.
4.4.1. Получение а8ЮН с высокой степенью структурной упорядоченности
4.4.2. Получение а8Ю с однородным распределением углерода
4.4.3. Получение аСН с низкой концентрацией графитоподобной составляющей структуры и полисилановых включений
4.5. Выводы но главе 4
Основные результаты и выводы.
Список использованной литературы