Повышение механической прочности кремниевых пластин путем снижения трещинообразования при их изготовлении

СОДЕРЖАНИЕ
ВВЕДЕНИЕ.
ГЛАВА 1 ПРОБЛЕМА ПОВЫШЕНИЯ МЕХАНИЧЕСКОЙ ПРОЧНОСТИ КРЕМНИЕВЫХ ПЛАСТИН
1.1 Образование и развитие трещин в хрупких, упругих материалах при их механической нагрузке.
1.2. Механизм образования трещин в хрупких, упругих материалах при их механической обработке
1.3. Методы механической обработки кремниевых пластин.
1.4. Причины возникновения остаточных напряжений в кремниевых пластинах.
1.5. Анализ методов контроля качества кремниевых
пластин.
1.5. Постановка целей и задач исследований
ГЛАВА 2 МЕТОДИКА ПРОВЕДЕНИЯ ИССЛЕДОВАНИЙ
2.1. Общая стратегия исследований
2.2. Материалы, образцы, инструмент.
2.3.Определение механической прочности кремниевых
пластин.
2.4. Определение глубины дефектного поверхностного слоя.
2.5. Регистрация электромагнитных сигналов кремниевых пластин при их
У механическом нагружении
2.6.Выводы к главе 2
ГЛАВА 3 ТЕОРЕТИКОЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЙ АНАЛИЗ ОБРАЗОВАНИЯ ТРЕЩИН В КРЕМНИЕВЫХ ПЛАСТИНАХ ПРИ ИХ ИЗГОТОВЛЕНИИ
3.1.Образование микротрещин при абразивной
обработке.
3.2. Факторы, определяющие образование трещин.
3.3. Влияние трещинообразования на механическую прочность кремниевых пластин
3.4. Влияние остаточных напряжений на геометрические размеры трещин
3.5. Выводы к главе 3.
ГЛАВА 4 ВЛИЯНИЕ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ОПЕРАЦИЙ НА МЕХАНИЧЕСКУЮ ПРОЧНОСТЬ КРЕМНИЕВЫХ ПЛАСТИН.
4.1. Влияние механической обработки на глубину дефектного слоя и прочность кремниевых пластин.
4.2. Влияние зернистости абразивного инструмента на прочность кремниевых пластин.
4.3. Выводы к главе 4.
ГЛАВА 5 ИССЛЕДОВАНИЕ ЭЛЕКТРОМАГНИТНОГО ИЗЛУЧЕНИЯ, ВОЗНИКАЮЩЕГО ПРИ МЕХАНИЧЕСКОМ НАГРУЖЕНИИ КРЕМНИЕВЫХ ПЛАСТИН.
5.1. Регистрация электромагнитных сигналов кремниевых пластин при их механическом нагружении
5.2. Влияние величины электропроводности и природы носителей зарядов на параметры электромагнитного излучения кремниевых пластин.
5.3. Частота колебаний кремниевой пластины и интенсивности электромагнитного излучения.
5.4. Выводы к главе 5.
ГЛАВА 6 ПРИМЕНЕНИЕ И ПЕРСПЕКТИВА ИСПОЛЬЗОВАНИЯ
РЕЗУЛЬТАТОВ ИССЛЕДОВАНИЙ
6.1. Основные направления повышения механической прочности кремниевых пластин
6.2. Перспективы использования результатов исследований по разработке метода неразрушающего контроля прочности
6.3. Оценка техникоэкономической эффективности повышения
механической прочности кремниевых пластин.
6.3. Выводы к главе 6.
ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ И ВЫВОДЫ
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
ЛИТЕРАТУРА