ОГЛАВЛЕНИЕ
ВВЕДЕНИЕ.
ГЛАВА 1. ОБЗОР ТЕОРЕТИЧЕСКИХ И ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫХ РАБОТ ПО ОПТИЧЕСКИМ И ЭЛЕКТРИЧЕСКИМ СВОЙСТВАМ ПОКРЫТИЙ НА ОСНОВЕ ШИРОКОЗОННЫХ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ МАТЕРИАЛОВ.
1.1. Область применения широкополосных спектроделительных
1.2. покрытий.
1.2. Характерные особенности оксидов р металлов с точки зрения получения тонкослойных прозрачных токопроводящих покрытий.
Выводы
ГЛАВА 2. ТЕХНОЛОГИЯ ПОЛУЧЕНИЯ И СВОЙСТВА
ПЛЕНОК НА ОСНОВЕ 1п38п
2.1. Технологическое оборудование и измерительная техника.
2.2. Условия получения пленок
2.3. Оптические характеристики
2.4. Функция качества для определения технологических пара
метров изготовления пленок.
2.5. Электрические свойства пленок 1п38п
2.6. Оценка механической прочности слоев 1п38п
2.7. Оценка координат цветности х, у прозрачных токопроводящих покрытий
Выводы.
ГЛАВА 3. ВЛИЯНИЕ ОТЖИГА НА ОПТИЧЕСКИЕ И ЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ
ПАРАМЕТРЫ ПЛЕНОК 1п3п
3.1.Исследование влияния отжига на воздухе
3.2. Исследование влияния отжига в вакууме
Выводы.
ГЛАВА 4. РАЗНОВИДНОСТИ ОПТИЧЕСКИХ ПОКРЫТИЙ НА ОСНОВЕ
СЛОЕВ ЬцОзп
4.1. Прозрачные в видимой области спектра электроды и нагревательные элементы .
4.1.1. Оптимизация толщины покрытия с целью обеспечения максимальной прозрачности и минимального поверхностного сопротивления
4.1.2. Зависимость поверхностного сопротивления и прозрачности
от скорости роста пленки и давления кислорода в камере.
4.1.3. Теплофизические характеристики прозрачных нагревателей
4.2. Широкополосные спектроделительные покрытия.
4.2.1. Спектроделительные покрытия на основе металлодиэлектрических слоев.
4.2.2. Оптимизация конструкции спектроделительного покрытия на
основе слоя 1пз8п
4.2.3. Просветление в видимой области спектра спектроделительного покрытия на основе 1пз8п.
4.3. Влияние поверхностной проводимости пленки 1п38п на
отражение в инфракрасном диапазоне спектра
Выводы.
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
ЛИТЕРАТУРА
- Київ+380960830922