Содержание
ВВЕДЕНИЕ.
Г ЛАВА 1. МОРФОЛОГИЯ ПОВЕРХНОСТИ КРЕМНИЯ ПРИ СУБЛИМАЦИИ
И АДСОРБЦИИ обзор литературы
1.1. Диффузионные процессы на атомночистой поверхности кристалла
1.2. Движение атомных ступеней
1.3. Адсорбция кислорода на поверхности кремния.
1.4. Структурные перестройки поверхности при осаждении металлов
ГЛАВА 2. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЕ МЕТОДЫ И АППАРАТУРА
2.1. Отражательная электронная микроскопия ОЭМ
2.2. Формирование контраста изображений в ОЭМ.
2.3. Система испарителей и прецизионного напуска газов
2.4. Препарирование образцов для элекгронной микроскопии
2.5. Атомносиловая микроскопия АСМ.
ГЛАВА 3. АТОМНЫЕ ПРОЦЕССЫ НА ПОВЕРХНОСТИ КРЕМНИЯ,
ИНИЦИИРОВАННЫЕ АДСОРБЦИЕЙ КИСЛОРОДА.
3.1. Начальные стадии окисления поверхности кремния.
3.2. Образование поверхностных вакансий.
3.3. Ступенчатослоевой механизм травления
3.4. Поверхностная диффузия вакансий
3.5. Формирование двумерных островков.
3.6. Морфология поверхности при экспозиции в кислороде.
Выводы.
ГЛАВА 4. ВЫСОКОТЕМПЕРАТУРНАЯ АДСОРБЦИЯ ЗОЛОТА НА
ПОВЕРХНОСТЬ КРЕМНИЯ
4.1. Начальные стадии адсорбции золота .
4.3. Осаждение золота при высоких температурах.
4.4. Морфология поверхности кремния при отжиге.
4.5. Особенности процесса эшелонирования ступеней
4.6. Адсорбция золота и электромиграция
Выводы.
ГЛАВА 5. ДИФФУЗИЯ ЗОЛОТА В ОБЪЕМ КРЕМНИЯ.
5.1. Эффект смещения атомных ступеней при адсорбции золота
5.2. Кинетика двумерных островков при адсорбции золота.
5.3. Генерация адатомов при диффузии золота в объем кремния
5.4. Объемная диффузия заряженных точечных дефекгов в кремнии
Выводы.
ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ И ВЫВОДЫ.
СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ
- Київ+380960830922