Жидкофазная эпитаксия ниобата лития

СОДЕРЖАНИЕ
ВВЕДЕНИЕ .
ГЛАВА I.ЭПИТАКСИАЛЬНЫЕ ПЛЕНКИ НИОБАТА ЛИТИЯ
I.Синтез и структура ниобата лития .
2.Жидкофазная эпитаксия как один из основных
методов изготовления волноводов
21 .Методы изготовления волноводов.
22.Физикохимические основы жидкофазной
эпитаксии.
23.Кинетика эпитаксиального роста
З.Ниобат лития как материал оптоэлектроники. . .
ГЛАВА П.МЕТОДИКА ЭКСПЕРИМЕНТА.
I.Определение кривых ликвидуса растворов в
расплав.
2.Методика жидкофазной эпитаксии ниобата лития.
21.Капиллярный метод эпитаксии сегяетоэлектри
22.Установка и температурный режим эпитаксии ниобата лития.
23 .Выбор и подготовка подложек
3.Структурные исследования пленок
4.Оптические исследования пленок
ГЛАВА Ш. ЖИДКОФАЗНАЯ ЭПИТАКСИЯ НИОБАТА ЛИТИЯ И ТВЕРДЫХ
РАСТВОРОВ 2Л2.уТОуОз
I.Кривые растворимости системы УО ЬЪз. .
2.Жидкофазная эпитаксия пленок 11
3.Кинетика эпитаксиального роста
31 .Модель стационарной кристаллизации
32.Расчет толщины пленок и параметров ростовой системы
33.Связь ростовых параметров с характером массопереноса .
34.Экспериментальное определение
35 .Влияние доменной структуры на кинетику
4. Жидкофазная эпитаксия пленок ЬуТОуи .
ГЛАВА 1У. СТРУКТУРНЫЕ ИССЛЕДОВАНИЯ ПЛЕНОКIII
I. Рентгеноструктурный анализ пленокIII
11.Состав слоевIII
12.Монокристалличность и межплоскостные расстояния
13.Ориентационные соотношения
2. Морфология и совершенство эпитаксиальных
21 .Микроморфология поверхности
22 .Граница раздела подложкапленка
23 .Дислокационная структура.
3. Доменная структура.
31 .Микродомены в ниобате лития
32.Наследственность доменной структуры. . . .
33.Точка Кюри эпитаксиальных пленок .
ГЛАВА У. ОПТИЧЕСКИЕ ИССЛЕДОВАНИЯ ЭПИТАКСИАЛЬНЫХ ПЛЕНОК.
I. Исследование лучевой стойкости пленок ниобата
2. Показатель преломления и модовые характеристики волноводов.
3. Затухание световой волны в пленке
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
ЛИТЕРАТУРА