ОГЛАВЛЕНИЕ
ВВЕДЕНИЕ.
1. СОСТОЯНИЕ МЕТОДОВ АНАЛИЗА ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ МАТЕ
РИАЛОВ
1.1. Полупроводниковые материалы и методы их анализа . .
1.2. Ядернофизические методы анализа элементного состава полупроводников.
1.3. Состояние активационных методов анализа на заряженных частицах.I
Постановка задачи.
2. РАЗРАБОТКА РАДИОАКТИВАЦИОННЫХ МЕТОДИК АНАЛИЗА КРЕМНИЯ
2.1. Техника эксперимента
2.2. Микроэлементный состав кремния .
2.3. Определение концентрации кислорода и углерода.
2.4. Распределение элементов по глубине образцов.
2.5. Распределение кислорода в кремнии.
3. АКТИВАЦИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ МАТЕРИАЛОВ ЗАРЯЖЕННЫМИ ЧАСТИЦАМИ НА ЦИКЛОТРОНЕ
3.1. Активация протонами и дейтронами .
3.2. Активация ионами гелия3
3.3. Избирательность радиоактивационного анализа полупроводниковых материалов
3.4. Радиохимические методы анализа полупроводников с выделением 0.
3.5. Инструментальные методы определения элементов в некоторых полупроводниках
3.6. Метрологические характеристики методик анализа . .
ЗАКЛЮЧЕНИЕ.
ВЫВОДЫ.III
Стр.
ЛИТЕРАТУРА
- Київ+380960830922