СОДЕРЖАНИЕ
ВВЕДЕНИЕ
ГЛАВА I. ОБРАЗОВАНИЕ И СВОЙСТВА РАДИАЦИОННЫХ ТОЧЕЧНЫХ ДЕФЕКТОВ В КРЕМНИИ.
I. Образование точечных дефектов структуры под действием быстрых электронов и гаммалучей посредством механизма упругого смещения .
2. Собственные точечные дефекты структуры в
кремнии . зд
а Близкая пара
б Собственный межузельный атом
в Вакансия
г Ассоциации собственных дефектов
3. Миграция собственных радиационных дефектов. 4. Взаимодействие собственных точечных дефектов с примесями. Основные типы комплексов в кремнии
а Комплекс вакансияпримесь Ш группы
б Комплекс вакансияпримесь 1У группы
в Комплекс вакансияпримесь У группы
г Примесные межузельные атомы и комплексы
с их участием.
Заключение к главе I
ГЛАВА П. МЕЛОДИЧЕСКИЕ ВОПРОСЫ.
I. Исследуемый материал и изготовление образцов .
2. Техника гаммаоблучения и изохронного отжига
3. Установка для измерения коэффициента Холла
и удельной электропроводности .
4. Определение коэффициента Холла, удельной электропроводности, концентрации носителей заряда, параметров примесных центров и других точечных дефектов .
5. Анализ температурных зависимостей концентрации носителей тока.
6. Анализ температурных зависимостей подвижности дырок
а Рассеяние на колебаниях решетки
б Рассеяние носителей заряда на ионизованных центрах.
Заключение к главе П.
ГЛАВА Ш. ЭКСШРИМЕНТАЛЬНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ.
I. Исходный материал
2. Исследование процессов образования и отжига
дефектов, возникающих в кремнии ртипа под действием гаммалучей при криогенной температуре
а Облучение чистого 5С В при тем
пературе 6,5 К
б Статистика носителей заряда в кремнии ртипа, содержащем вакансии
в Облучение чистого Б с 5 при температуре К
г Облучение кремния ртипа, легированного
примесями бора, галлия и индия при температуре К.
3. Облучение легированного кремния ртипа при
комнатной температуре.
ГЛАВА 1У. ОБСУЗДЕНИЕ ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫХ РЕЗУЛЬТАТОВ
I. Энергетический спектр и миграция собственных точечных дефектов В кремнии
2. Характер квазихимических реакций собственных точечных дефектов с примесными атомами .
3. О величине сечения процесса образования дефектов в кремнии Х
ЗАКЛЮЧЕНИЕ.
БЛАГОДАРНОСТИ .
ЛИТЕРАТУРА
- Київ+380960830922