Ви є тут

Формирование электрически активных центров в кремнии, имплантированном ионами газов средних (?10 кэВ/а. е. м. ) и высоких (>1 МэВ/а. е. м. ) энергий, при отжигах до 1050°С.

Автор: 
Неустроев Ефим Петрович
Тип роботи: 
кандидатская
Рік: 
2000
Кількість сторінок: 
167
Артикул:
138770
179 грн
Додати в кошик