Процессы формирования и электрофизические свойства гетероструктур карбид кремния - твердые растворы на основе карбида кремния

ОГЛАВЛЕНИЕ
ВВЕДЕНИЕ.
ГЛАВА I.МОДЕЛИРОВАНИЕ ПРОЦЕССОВ ДИФФУЗИИ В КАРБИДЕ
КРЕМНИЯ ПРИ ОБРАЗОВАНИИ ТВЕРДЫХ РАСТВОРОВ
1.1. Условия образования твердых растворов
1.2. Растворимость элементов в карбиде кремния
1.3. Диффузионные процессы при образовании твердых растворов на основе карбида кремния.
1.4. Анализ растворимости и диффузии элементов в карбиде кремния ГЛАВА II. ЖИДКОФАЗНАЯ ЭПИТАКСИЯ ГЕТЕРОСТРУКТУР ТВЕРДЫХ
РАСТВОРОВ НА ОСНОВЕ КАРБИДА КРЕМНИЯ.
2.1. Жидкофазные методы получения твердых растворов.
2.2. Определение степени оптимального пересыщения растворарасплава и расчет параметров взаимодействия в жидкой и твердой фазах.
2.3. Электрожидкостная эпитаксия
а Распределение температуры в ростовой ячейке.
б Массоперенос
2.4. Влияние термокапиллярной конвекции на процесс роста ЭС
ГЛАВА III. ГАЗОФАЗНАЯ ЭПИТАКСИЯ ТВЕРДЫХ РАСТВОРОВ НА
ОСНОВЕ КАРБИДА КРЕМНИЯ
3.1. Гетероэпитаксия твердых растворов 8С.хА1Мх.
3.2. Оптимизация процессов гетероэпитаксии твердых растворов 5С.хАШх
3.3. Получение аморфных слоев аБС и соединений а8СА1И.
ГЛАВА IV. МОРФОЛОГИЯ И СТРУКТУРА ГЕТЕРОЭПИТАКСИАЛЬНЫХ
СЛОЕВ ТВЕРДЫХ РАСТВОРОВ.,
4.1. Морфология 8СхА1Нх
4.2. Структура 8С.хАШх
4.3. Влияние лазерного отжига на релаксацию дефектов в переходном слое ГС
4.4. Изучение структуры молекул эпитаксиальных слоев 8СхАШх методом электроннопарамагнитного резонанса.
ГЛАВА V. ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ГЕТЕРОСТРУКТУР
пфСУрфСЫАПЧ
5.1. Получение и исследование омических контактов к БС и твердым растворам на его основе.
5.2. Температурная и концентрационная зависимости электропроводности твердого раствора 8СхА1Мх.
5.3. Влияние сильных электрических полей на электропроводность карбида кремния и твердых растворов 8С.хАЧх.
5.4. Вольтамперные характеристики ГП п8Ср8С.хА1Ис.
5.5. Вольтфараданые характеристики ГП п8Ср8С.хА4х
5.6. Фотовольтаический эффект в ЭС 8С
5.7. Люминесцения гетероэпитаксиальных слоев 8СхАШх
а фотолюминесцения.
б электролюминесцения
в катодолюминесценция
ГЛАВА VI. ИЗО И ГЕТЕРОВАЛЕНТНЫЕ ТВЕРДЫЕ РАСТВОРЫ В СИСТЕМАХ БСКАРБИДЬ ЫЬ, Т, Ъх
6.1. Термодинамический анализ изоморфных замещений в системах БСкарбидь 1, Т, Ъх.
6.2. Твердофазное взаимодействие в системах БЮЫЬС, БСТС, 8С2гС
6.3. Особенности получения ЭС твердых растворов 8СМзС методом сублимации.
6.4. Влияние параметров процесса выращивания на структуру и
электрофизические свойства ЭС 8цхЫЬхС.
ЗАКЛЮЧЕНИЕ.
ЛИТЕРАТУРА