ВВЕДЕНИЕ
ЗАКОНОМЕРНОСТИ РАСПРЕДЕЛЕНИЯ СИЛИЦИДНЫХ ФАЗ В ПРОЦЕССЕ ТВЕРДОФАЗНОЙ РЕАКЦИИ МЕТАЛЛА И КРЕМНИЯ И СТРУКТУРА МЕЖФАЗНОЙ ГРАНИЦЫ
1.1. Система 8 1.
1.1.1. Диаграмма состояния системы 5 1
1.1.2 Кинетика твердофазных реакций на границе 8 силицид .
1.1.3. Структура МГ в системе Б силицид 1.
. 1.3.1 Дислокационная структура МГ
1.1.3.2. Атомная структура МГ.
1.1.3.3. Электронная структура МГ.
1.2. Система 8Р.
1.2.1. Диаграмма состояния системы 8Р1
1.2.2 Кинетика твердофазных реакций на границе Я силицид Р
1.2.3. Структура МГ в системе БР.
1.3 Система Р.
1.3.1 Диаграмма состояния системы ЭЬРс.
1.3.2. Кинетика фазообразования в системе 8 Ре
1.3.3. Структура МГ в системе М.
1.4. Система Я металл металл
1.5. Выводы и постановка задачи
2. МАТЕРИ АЛЬТ СПОСОБЫ ПОЛУЧЕНИЯ ПЛЕНОЧНЫХ ЕТЕРОСТРУКТУР БСИЛИЦИД МЕТАЛЛА И МЕТОДЫ ИССЛЕДОВАНИЯ.
2.1 Материалы и способы нанесения исходных пленок , 4, Р1
2.2 Оценка времен термообработки на основе расчета взаимной диффузии 1 и Р в 8.
2.3 Способы синтеза пленок силицидов.
2.4. Методика подготовки образцов для электронномикроскопических исследований.
2.5. Анализ фазового и элементарного состава структуры и ориентации пленок силицидов
3. ФАЗОВЫЙ СОСТАВ, ОРИЕНТАЦИЯ И СУБСТРУКТУРА ГЕТЕРОСИСТЕМЫ КРЕМНИЙ НИКЕЛЬ
3.1. Система 18 силицид никеля.
3.1.1. Фазовый состав, структура и ориентация пленок.
3.1.2. Структура МГ
3.2. Система 18 силицид 1
3.3. Выводы
4. ФАЗОВЫЙ СОСТАВ, ОРИЕНТАЦИЯ И СУБСТРУКТУРА ПЛЕНОК СИЛИЦИДОВ НА ОСНОВЕ Р И МРЛ
4.1. Синтез силицидов при термической обработкой пленок
4.1.1. Система 1 Б РгЫО
4.1.2. Система Б РсМ.
4.2. Синтез силицидов при фотонной обработке система Р1 1 8
4.3. Выводы.
ОСНОВНЫЕ ВЫВОДЫ.
ЛИТЕРАТУРА
- Київ+380960830922