Теория зеркального отражения рентгеновских лучей от неидеальных многослойных наноструктур и ее применение в рефлектометрии сверхрешеток Fe/Cr

СОДЕРЖАНИЕ
Введение.
Глава 1 Литературный обзор.
1 Рентгеновские методы исследования, многослойных структур.
1.2 Описание рассеяния рентгеновских лучей от неидеальных многослойных наноструктур.
1.3 Основные методы обработки рефлскто.четрических спектров. Глава 2 Теория зеркального отражения рентгеновских лучей от многослойных наноструктур.
2.1 Основные определения.
2.2 Метод фазовых функций.
2.3 Влияние структурных особенностей межслойных границ
на вид рефлектометрических спектров.
Глава 3 Методика определения структурных параметров многослойных наноструктур из анализа рефлектометрических спектров.
3.1 Описание модели ММС и принципы расчета рефлектометрических спектров.
3.2 Описание программы X и инструкции
по ее использованию.
Глава 4 Исследование структуры межслойных границ в свсрхрсшстках
4.1 Влияние температуры роста на структуру межслойных границ свсрхрсшсток .
4.2 Определение параметра асимметрии из анализа рефлектометрических спектров.
Список цитируемой литературы