СОДЕРЖАНИЕ
Введение.
1. Точечные дефекты и их ассоциаты в полупроводниках.
1.1. Точечные дефекты в полупроводниках и их классификация.
1.2. Вакансии в полупроводниках
1.3. Ассоциаты точечных дефектов и их классификация по типу взаимодействия.
1.4. Кластеризация точечных дефектов.
1.5. Термодинамика образования точечных дефектов.
1.6. Заключение и постановка задачи исследования.
2. Термодинамика образования точечных дефектов и их ассоциатов в полупроводниках
2.1. Расчет равновесной концентрации точечных дефектов с учетом вырождения электронной подсистемы и ассоциации дефектов
2.2. Растворимость примеси в регулярном приближении
2.3. Выводы к 2 главе
3. Гермодинамика образования вакансий и их комплексов в кремнии
3.1. Зарядовые состояния вакансии в кремнии
3.2. Определение параметров образования вакансий в кремнии.
3.3. Термодинамика образования дивакансий в кремнии
3.4. Термодинамика образования комплекса вакансияатом примеси в кремнии.
3.5. Выводы к 3 главе.
4. Моделирование термодинамики образования вакансий и их комплексов в полупроводниках с различным легированием.
4.1. Определение положения уровня Ферми.
4.1.1. Уравнение нейтральности
4.1.2. Вычисление интеграла Ферми.
4 Вычисление интеграла Ферми для случая промежуточного вырождения
4.2. Моделирование термодинамики образования вакансий и их комплексов в полупроводниках легированных донорной примесью
4.3. Моделирование термодинамики образования вакансий и их комплексов в полупроводниках легированных акцепторной примесью
4.4. Комплекс вакансияатом кислорода.
4.5. Выводы к 4 глазе.
5. Кинетика образования комплекса вакансияатом примеси.
5.1. Кинетика образования комплекса из двух дефектов
5.2. Обработка экспериментальных кривых изохронного отжига
5.3. Выводы к 5 глазе.
6. Рост фрактальных кластеров лития в германии
6.1. Теория роста кластеров.
6.2. Центры зарождения кластеров лития в германии
6.3. Анализ экспериментальных данных по кинетике роста кластеров лития в германии.
6.4. Выводы к 6 главе.
Выводы к диссертации.
Список публикаций автора на тему диссертации.
Список литературы
- Київ+380960830922