ОГЛАВЛЕНИЕ
Введение
1 СТЕКЛООБРАЗНЫЕ ТОНКИЕ ПЛЕНКИ. ПОЛУЧЕНИЕ И СВОЙСТВА
1.1 Стеклообразное состояние вещества
1.1.1 Особенности стеклования и стеклообразного состояния
1.1.2 Строение неорганических стекол
1.2 Методы получения стеклообразных тонких пленок
1.2.1 Ионно плазменное распыление
1.2.2 Золь гель метод
1.2.3 Металлические стекла
1.2.4 Окисление и анодирование
1.2.5 Плазмо химические методы
1.3 Оптические свойства в ИК области спектра
1.4 Подложки для тонких пленок
1.4.1 Материалы и методы получения
1.4.2 Оптика шероховатых поверхностей
1.4.3 Фрактальные свойства шероховатых поверхностей
1.5 Основные выводы по первой главе
2 ОБОРУДОВАНИЕ И МЕТОДЫ ИССЛЕДОВАНИЯ
2.1 Эллипсометр ЛЭФ
2.2 Фурьеспектрометр 1пГга1ит ЕТ1
2.3 Модуль спектрометрии на базе оптоволоконного двухканального спектрометра АуаБресЕТ2ТЕС для измерения коэффициентов отражения и толщины тонких пленок
2.4 Оптический спектрометр и8В
2.5 Растровый электронный микроскоп НкасЫ ТМ
3 ИССЛЕДОВАНИЕ ФИЗИЧЕСКИХ СВОЙСТВ ПОВЕРХНОСТИ ПОДЛОЖЕК, ИСПОЛЬЗУЕМЫХ ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ЫАНОРАЗМЕРНЫХ ПЛЕНОК
4.3 Результаты исследований оптических свойств наноразмерных пленок диоксида кремния методами эллипсометрии и поляризационной интерферометрии
3.1 Профиль поверхности подложек
3.2 Исследования профиля поверхности подложек с использованием атомносиловой микроскопии
3.2.1 Рельеф и фазовый контраст поверхности
3.2.2 Статистическая обработка результатов АСМ измерений
3.3 Исходная поверхность п ваАз
3.4 Эллипсометрические исследования поверхности подложек после химической обработки
3.5 Выводы по третьей главе
4 ИССЛЕДОВАНИЕ СТРУКТУРЫ, СОСТАВА И ОПТИЧЕСКИХ
ХАРАКТЕРИСТИК ТОНКИХ ПЛЕНОК ДВУОКИСИ КРЕМНИЯ
4.1 Исследование оптических свойств наноразмерных тонких пленок ЬЮг методами ИК спектроскопии
4.2 Анализ полос поглощения ОН групп
4.4 Выводы по четвертой главе
5 ИССЛЕДОВАНИЕ СВОЙСТВ, СТРУКТУРЫ И ОПТИЧЕСКИХ 5 ХАРАКТЕРИСТИК ТОНКИХ ПЛЕНОК ОКСИДА ТАНТАЛА
5.1 Исследуемые образцы пленок Та5
5.2 Электрофизические свойства тонких пленок соединений 8 тантала
5.3 Оптические свойства тонких пленок Та5 в видимом 1 диапазоне длин волн
5.4 Эллипсометрические исследования оптических характеристик 5 тонких пленок Та
5.5 Результаты исследований тонких пленок оксида тантала в 1 инфракрасной области спектра
5.6 Выводы по пятой главе
Основные выводы по работе
Список использованных источников
- Київ+380960830922