Решение обратных задач теории переноса частиц и излучения для исследования многослойных структур

Оглавление
Введение
Глава I. Обзор методик электронной спектроскопии и способов интерпретации спектров.
1.1. Экспериментальные методы диагностики состава поверхности.
1.2. Подходы к расчету потоков рассеянных частиц.
1.3. Основные параметры торможения электрона в веществе
1.4. Нелокальное неупругое рассеяние.
1.5. Спектроскопия упруго рассеянных электронов
1.6. Модели переноса электронов в твердом теле.
Основные результаты и выводы по первой главе.
Глава 2. Спектроскопия упруго отраженных электронов
2.1. Расчет функций пропускания и отражения электронов, отраженных от плоского слоя
2.2. Апробация алгоритмов решения уравнения переноса, развитых в оптике
2.3. . Апробация расчетных моделей
2.4. Послойный анализ мишенейс помощью спектроскопии упруго отраженных электронов
2.5. Влияние многократного рассеяния на форму пика упруго рассеянных электронов
Основные результаты и выводы по второй главе
Глава 3. Интерпретация спектров неупругих потерь энергии
3.1. Неупругое рассеяние в однородном слое, функция Ландау
3.2. Разработка алгоритмов численного восстановления дифференциального1 сечения неупругого рассеяния.
3.3. Проблемы численного восстановления сечений неупругого рассеяния
3.4. Восстановление дифференциальных сечений неупругого рассеяния из спектров ХПЭ 6
3.5. Восстановление дифференциального сечения неупругого рассеяния из спектров ХПЭ А1
Основные результаты и выводы по третьей главе.
Заключение
ВВЕДЕНИЕ
Данная диссертация посвящена развитию моделей переноса электронов с энергиями в диапазоне 1 кэВ и созданию методик неразрушающего послойного исследования поверхности твердых тел и является продолжением работ, проводимых на кафедре ОФиЯС МЭИТУ 1,2.
Актуальность