ОГЛАВЛЕНИЕ
Глава I. Обзор работ по исследованию рассеяния при бомбардировке
поверхности твердого тела ионами кэВэнергий
1.1. Рассеяние медленных ионов
1.1.1. Процессы, сопровождающие ионную бомбардировку
твердого тела
1.1.2. Кинематика столкновения иона с поверхностью.
1.1.3. Потенциалы взаимодействия.
1.1.4. Процессы перезарядки при рассеянии
1.1.5. Неупругие потери энергии
1.1.6. Эффект двукратного ионного рассеяния
Выводы и постановка задачи диссертационной работы.
Глава II. Метод спектроскопии медленных рассеянных ионов СМРИ.
2.1. Установка СПЕКТР для СМРИ.
2.1.1. Источник ионов.
2.1.2. Электростатический анализатор ЮзаРожанского.
2.1.3. Цилиндрический анализатор с фокусировкой кольцоось
2.1.4. Детекторы заряженных частиц и приборы управления экспериментом.
2.2. Настройка экспериментальной установки
2.2.1. Вакуумные условия проведения эксперимента и подготовка поверхности образцов
2.2.2. Оптическая и отклоняющая система ионного источника.
2.2.3. Юстировка положения мишени.
2.2.4. Процедура измерения энергетических спектров
Выводы и параметры экспериментальной установки
Глава III. Результаты измерений и их обсуждение.
3.1. Экспериментальные данные измерений энергетических распределений частиц, эмитированных при ионной бомбардировке поверхности
3.1.1. Экспериментальные спектры в зависимости от угла наблюдения, сорта атомов мишени и энергии первичного пучка ионов
3.1.2. Результаты измерения неупругих потерь энергии
3.2. Исследование эффекта двукратного рассеяния для заряженных частиц
3.2.1. Исследование угловых зависимостей
3.2.2. Эффект двукратного рассеяния для различных мишеней и в зависимости от энергии бомбардирующих ионов.
3.3. Эмиссия положительных и отрицательных ионов в результате трех и четырехкратных столкновений в твердом теле
3.3.1. Обнаружение эмиссии ионов в результате трех и четырехкратных столкновений.
3.3.2. Исследование многократных столкновений для различных мишеней и в зависимости от первоначальной энергии пучка
3.4. Применение эффекта двукратного рассеяния для определения доли кластеров атомов германия в твердых растворах ЗцОе.
3.4.1. Применение СМРИ в случае малоуглового рассеяния.
3.4.2. Демонстрация применимости метода
для анализа тонких пленок
3.4.3. Разработка спектроскопии обратно рассеянных ионов.
Заключение.
Список литературы
- Київ+380960830922