СОДЕРЖАНИЕ
ВВЕДЕНИЕ.
Глава I ОБЗОР ЛИТЕРАТУРЫ.
1.1 Физические свойства аморфных полупроводников.
1.2 Электропроводность аморфных и микрокристаллических полупроводников.
1.3 Фотопроводимость аморфных полупроводников.
1.4 Фрактальное строение и перколяционная проводимость аморфных полупроводников.
1.5 Выводы к главе 1
Глава II МЕТОДИКА ЭКСПЕРИМЕНТА
2.1 Объекты исследования
2.2 Измерение толщины плнок яБСН
2.3 Исследование плнок яБСН методом ИК спектроскопии
2.3.1 Анализ состава и структуры плнок яБСН по результатам ИКспектроскопии
2.4 Спектроскопия комбинационного рассеяния света КРС.
2.5 Рентгеноструктурный анализ
2.6 Просвечивающая электронная микроскопия ПЭМ
2.7 Растровая электронная микроскопия РЭМ.
2.8 Сканирующая зондовая микроскопия СЗМ
2.9 Исследование электрических параметров плнок карбида кремния четырехзондовым методом.
2. Исследование электрических параметров гетеропереходов яБСНУсБ методом вольтампериых характеристик.
2. Импедансная спектроскопия ИС
2. Выводы к главе II.
Глава III СТРУКТУРА ПЛЕНОК я8СН.
3.1 Моделирование структуры плнок я8СН.
3.2 Анализ состава и структуры плнок а8СН по данным ИКспектроскопии
3.3 Анализ состава и структуры плнок я8СН по результатам спектроскопии КРС.
3.4 Исследование состава и структуры плнок аБСН методами рентгеноструктурного анализа, ПЭМ и РЭМ.
3.5 Анализ структуры плнок оСН по результатам СЗМ
3.6 Выводы к главе III.
Глава IV ИССЛЕДОВАНИЕ МЕХАНИЗМОВ ПЕРЕНОСА ЗАРЯДА В ПЛЕНКАХ а8СН
4.1 Моделирование процессов переноса заряда
4.2 Анализ результатов исследования пленок а8С четырехзондовым методом.
4.3 Описание процесса переноса заряда в плнках а8СН с учтом особенностей структуры материала по результатам метода ИС
4.4 Перенос заряда через гетеропереход а8СНс8
4.5 Выводы к главе IV.
ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ И ВЫВОДЫ
СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ
- Київ+380960830922