Математическое моделирование тонкопленочных нано- и микроэлектромеханических систем датчиков давления

Содержание
Введение
1. Анализ современного состояния и проблем в области создания датчиков давления.
1.1 Обзор датчиков давления ведущих мировых производителей
1.2 Экспериментальные методы исследования поверхности тонких плнок НиМЭМС датчиков давления
1.3 Теоретические подходы к проблеме моделирования роста поверхности тонких пленок
1.4 Аналитические и численные методы моделирования упругих элементов НиМЭМС датчиков давления.
1.5 Формулировка задач исследования
1.6 Результаты и выводы по разделу.
2. Математическое моделирование роста поверхности тонких плнок
2.1 Анализ модели случайного осаждения.
2.2 Модель роста тонких плнок, учитывающая поверхностную диффузию.
2.3 Численный анализ результатов моделирования.
2.4 Исследование влияния температуры подложки и скорости осаждения
2.5 Результаты и выводы по разделу.
3. Сопоставление результатов моделирования с экспериментальными
данными.
3.1 Параметры, характеризующие морфологию поверхности
3.2 Численный анализ экспериментальных данных АСМмикроскогши образцов никеля и хрома
3.3 Сопоставление данных с результатами математического
моделирования.
3.4 Результаты и выводы но разделу.
4. Моделирование воздействия давления и температур на упругие элементы
ЫиМЭМС датчиков давления
4. Метод конечных элементов.
4.2 Моделирование деформаций упругих элементов НиМЭМС датчиков
под действием измеряемого давления
4.3 Моделирование воздействия нестационарных температур на
НиМЭМС датчиков давления.
4.4 Результаты и выводы по разделу
Заключение.
Список литературы