СОДЕРЖАНИЕ
ВВЕДЕНИЕ .
ГЛАВА I. АППАРАТУРА И МЕТОДЫ ИЗМЕРЕНИЯ ОСНОВНЫХ ПОЛЯРИЗАЦИОННООПТИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ В ЭЛЛИПСОМЕТРИИ ОТРАЖАЮЩИХ СИСТЕМ .
1.1. Методы компенсационной нулевой эллиисометрии .
1.2. Метрологическое обеспечение эллипсометрического метода .
Выводы .
ГЛАВА И. ТЕОРИЯ ЭЛЛИПСОМЕТРИИ НЕОДНОРОДНЫХ СЛОЕВ И ШЕРОХОВАТОЙ ПОВЕРХНОСТИ ЭЛЕМЕНТОВ ОПТОТЕХНИКИ .
2.1 Методы определения оптических характеристик неоднородных и анизотропных отражающих систем . 3
2.1.1 Эффективная диэлектрическая проницаемость и толщина поверхностного слоя . 3
2.2 Поляризационнооптические свойства неоднородных и
анизотропных поверхностных слоев .
2.2.1 Отражение поляризованного света от неоднородного анизотропного поверхностного слоя .
2.2.2 Анализ области применимости точных и приближенных теорий отражения поляризованного света от неоднородных слоев .
2.2.3 Основные закономерности изменения состояния поляризации светового пучка отраженного от неоднородного слоя .
2.3 Поляризационнооптические свойства шероховатой поверхности диэлектриков и полупроводников .
Выводы .
ГЛАВА III. МЕТОДЫ ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО КОНТРОЛЯ ФИЗИКОТЕХНИЧЕСКИХ ХАРАКТЕРИСТИК ЭЛЕМЕНТОВ ЛАЗЕРНОЙ ТЕХНИКИ .
3.1 Влияние неоднородности физикохимической структуры плавленого
и кристаллического кварца на потери излучения в оптических элементах ионных и эксимерных лазеров .
3.2 Определение оптических характеристик элементов лазерной техники
методом внутрирезонаторных потерь излучения .
3.3 Методы эллипсомстричсского анализа неоднородных поверхностных слоев элементов лазерной техники .
3.4 Определение потерь излучения в оптических элементах методами
эллипсометрии и спектрофотометрии .
Выводы .
ГЛАВА IV. МЕТОДЫ ИССЛЕДОВАНИЯ И КОНТРОЛЯ ФИЗИКОТЕХНИЧЕСКИХ ХАРАКТЕРИСТИК ЭЛЕМЕНТОВ ОНТОТЕХНИКИ .
4.1 Кинетика и физикохимические механизмы формирования неоднородной структуры поверхностного слоя элементов оптотехники .
4.2 Методы определения оптических характеристик волноводных поверхностных слоев .
Выводы .
Заключение .
Литература
- Київ+380960830922