Содержание
Введение.
Глава 1. Литературный обзор
1.1 Получение пористого кремния
1.2 Механизмы образования структурных особенностей
пористого кремния.
1.3 Механизмы окисления и роль оксида кремния в
фотолюминесценции пористого кремния.
1.4 Количественный ожеанализ химического состава твердых тел
1.5 Состав и строение аБЮх
1.6 Анализ моделей фотолюминесценции пористого кремния.
1.7 Влияние на фотолюминесценцию пористого кремния
лазерного облучения.
Глава 2. Методика эксперимента
Глава 3. Количественный ожеанализ пористых
полупроводникых материалов, содержащих элементный
и окисленный кремний
Глава 4. Неразрушающий анализ стехиометрии окисленной
поверхности пористого кремния.
Глава 5. Модификация свойств пористого кремния в процессе
водного дотравливания.
5.1 Механизмы водного дотравливания пористого кремния
птипа проводимости во внешнем электрическом поле.
5.2 Изменение оптических свойств и состава поверхности
пористого кремния в процессе водного дотравливания.
Литература
- Київ+380960830922