Ви є тут

Система диагностики механических элементов вакуумного оборудования

Автор: 

Пересадько Андрей Григорьевич

Тип роботи: 

кандидатская

Рік: 

2000

Кількість сторінок: 

212

Артикул:

1000283587

179 грн

Додати в кошик

• 
• 
• 

Рекомендовані дисертації

• Новые технохимические процессы и оборудование жидкостного химического снятия слоев полимеров в планарном микроэлектронном производстве
• Разработка перспективных методов литографии для получения рисунка на внутренней поверхности дефлектрона
• Повышение надежности высоковакуумных механизмов на основе учета влияния обезгаживающего прогрева
• Разработка и исследование элементной базы интегрированных вакуумных систем и создание на их основе оборудования высоких технологий производства изделий электронной техники
• Теплофизические исследования и разработка реакторного блока установки быстрой термической обработки
• Теоретические и экспериментальные исследования ионизационных преобразователей давления с целью расширения диапазона измерения и создания нового поколения высоковакуумных и сверхвысоковакуумных ионизационных преобразователей давления общего и специального
• Моделирование и разработка широкоугольных электронно-оптических систем прецизионного электронно-лучевого оборудования
• Теоретические и прикладные вопросы создания бескорпусной вакуумной коммутационной аппаратуры и устройств вакуумной механики для многомодульного оборудования высоких технологий
• Теоретические и экспериментальные исследования ионизационных преобразователей давления с целью расширения диапазона измерения и создания нового поколения высоковакуумных и сверхвысоковакуумных ионизационных преобразователей давления общего и специального назначения
• Разработка методов и средств контроля параметров рекуперации реагентов в безотходных технохимических процессах планарного микроэлектронного производства