Обоснование и разработка прецизионного способа двухстороннего шлифования свободным абразивом пластин кремния большого диаметра

1.1. Основы механической обработки пластин кремния 9
1.2. Структура и глубина повреждений в приповерхностных слоях пластин кремния при шлифовании
1.3. Новые тенденции в технологии обработки пластин кремния.
1.4. Постановка задач исследований.
ГЛАВА 2. АНАЛИЗ ПРЯМЫХ И КОСВЕННЫХ МЕТОДОВ ИССЛЕДОВАНИЯ IГРИ1ЮВЕРХНОСТНЫХ ПОВРЕЖДЕНИЙ В ПЛАСТИНАХ КРЕМНИЯ И МЕТОДОВ ИХ ВИЗУАЛИЗАЦИИ
2.1. Двухкристальная рентгеновская дифрактомстрия
2.2. Определение радиуса кривизны деформированных пластин кремния рентгеновским методом.
2.3. Секционная рентгеновская топография пластин
кремния
2.4. Методика определения приповерхностных повреждений методом косого шлифа
2.5. Применение окислительного теста для характеризации вторичных дефектов окислительных дефектов упаковки ОДУ.
2.6. Выводы
ГЛАВА 3. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЕ ИССЛЕДОВАНИЯ ПО ОПРЕДЕЛЕНИЮ СТРУКТУРЫ И ГЛУБИНЫ ПОВРЕЖДЕНИЙ В ПРИПОВЕРХНОСТНЫХ СЛОЯХ ПЛАСТИН КРЕМНИЯ ПОСЛЕ ДВУХСТОРОННЕГО ШЛИФОВАНИЯ ДСШ СВОБОДНЫМ АБРАЗИВОМ
3.1. Применение сканирующей электронной микроскопии для определения формы зерна применяемого абразива
3.2. Определение глубины и структуры повреждений прямыми неразрушающими методами
3.3. Определение глубины и структуры повреждений прямыми разрушающими методами
3.4. Применение косвенных методов для характеризации различий в структуре приповерхностных повреждений после ДСШ свободным абразивом с различной формой и размером зерна и для разделения влияния дефектов после двухстадийного ХМП.1
3.5. Моделирование формирования нарушений в пластинах кремния при ДСШ свободным абразивом с различным размером и формой абразивных частиц.0
3.6. Обоснование предлагаемого прецизионного способа двухстороннего шлифования пластин кремния свободным абразивом0
3.7. Выводы.3
ГЛАВА 4. ПРАКТИЧЕСКАЯ РЕАЛИЗАЦИЯ РЕЗУЛЬТАТОВ
РАБОТЫ7
4.1. Разработка технологии прецизионного двухстороннего
шлифования свободным абразивом.
4.1.1. Разработка технологии приготовления шлифовальной
суспензии на основе мелкого абразива с плоской гексагональной формой зерна с использованием
вязкого суспензионного носителя 7
4.1.2. Технология двухстороннего шлифования пластин кремния мм суспензией на основе мелкого абразива с применением вязкого суспензионного
носителя 0
4.2. Практическое использование результатов работы
ОБЩИЕ ВЫВОДЫ ПО РАБОТЕ.3
ЛИТЕРАТУРА