Разработка системы управления движением сканирования установки магнетронного вакуумного напыления

СОДЕРЖАНИЕ
ВВЕДЕНИЕ
Глава 1. ТРЕБОВАНИЯ К ЭЛЕКТРОПРИВОДУ СКАНИРОВАНИЯ МАГНЕТРОННЫХ ВАКУУМНЫХ УСТАНОВОК
1.1. Установки магнетронного вакуумного напыления
1.2. Кинематические схемы электроприводов сканирования различных установок магнетронного вакуумного напыления
1.3. Разработка и исследование имитационной модели процесса роста толщины пленки с учетом относительного движения магнетро на и обрабатываемой поверхности
1.4. Задачи управления движением сканирования
Выводы по главе 1 .
Глава 2. УПРАВЛЕНИЕ КОМПЛЕКСАМИ С ДВИЖЕНИЕМ СКАНИРОВАНИЯ
2.1. Обобщенная схехма комплекса для управления технологическим процессом
2.2. Вопросы технической реализации комплексов с движением сканирования
2.3. Формирование траектории движения с учетом особенностей кинематики
2.4. Общие технологические задачи управления комплексом с движением сканирования
Выводы по главе 2
Глава 3. РАЗРАБОТКА И ИМИТАЦИОННОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ СИСТЕМ УПРАВЛЕНИЯ ЭЛЕКТРОПРИВОДОВ СКАНИРОВАНИЯ УСТАНОВОК МАГНЕТРОННОГО ВАКУУМНОГО НАПЫЛЕНИЯ
3.1. Вопросы обеспечения равномерности вращения
3.2. Обеспечение согласования скоростей нескольких электро
приводов
3.3. Моделирование электроприводов движения сканирования с
учетом особенностей кинематики
3.4. Моделирование червячного редуктора
Выводы по главе 3
Глава 4. РАЗРАБОТКА И ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОЕ
ИССЛЕДОВАНИЕ СИСТЕМЫ УПРАВЛЕНИЯ ДВИЖЕНИЕМ СКАНИРОВАНИЯ УСТАНОВКИ МАГНЕТРОННОГО
ВАКУУМНОГО НАПЫЛЕНИЯ ОПАЛЗПРО
4.1. Установка магнетронного вакуумного напыления Опал3
4.2. Разработка схемы организации системы управления дви 3 жением
4.3. Разработка функциональной схемы системы управления 6 движением сканирования и аппаратной части
4.4. Программа управления контроллером движения
4.5. Экспериментальные исследования системы управления 6 движением сканирования
Выводы по главе 4
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
СПИСОК ИСПОЛЬЗОВАННЫХ ИСТОЧНИКОВ