Электролюминесценция и проводимость слоев двуокиси кремния на кремнии в сильных электрических полях

СОДЕРЖАНИЕ
Введение стр.
ГЛАВА I. Инжекция электронов В З и их перенос
в сильном электрическом поле.
I. Проводимость системы ЗЗ металл
в сильных электрических полях.
2. Особенности электролитического контакта.
3. Методика эксперимента. .
4. Особенности проводимости системы ЗЗЮ2
электролит в сильных электрических ПОЛЯХ. 5. Ударная ионизация в структурах ззю2,
ГЛАВА II. электролюминесценция в структурах 3.
Механизмы возбуждения. . .
I. Люминесцентные методы исследования структур ззо2.
2. Методика определения спектрального состава электролюминесценции системы ЗБ
электролит. . . г.
3. Влияние пнтерферениции на спектр люминест
ценции тонких диэлектрических слоев
4. Механизмы возбуждения электролюминесценции
в системе ЗЗ электролит. . . . . С
5. Взаимосвязь между механизмом возбуждения электролюминесценции и особенностями проводимости диэлектрика .
ГЛАВА III. Электролюминесценция в структурах ззо2.
Характеристики центров свечения.
Г. Зависимость интенсивности спектральных полос электролюминесценции от способа формирования структур 33 .
2. Характеристики центров люминесценции
в полосе 1,9 эВ
3. Характеристики центров свечения
в полосе 2,2 эВ.. .
4. Характеристики центров люминесценции
в полосе 2,7 эВ
5. Использование электролюминесценции для изучения процессов термического и анодного окисления кремния.
ГЛАВА У. Использование электролюминесценции для изучения изменений свойств структур 33 в сильных электрических ПОЛЯХ. .
I. Основные результаты исследования полевой деградации структур ЗБо2 по литературным данным.
2. Изменение зарядового состояния структур
бзо2 в сильных электрических ПОЛЯХ.
3. Изменение проводимости и спектра электролюминесценции структур ЗЗ в сильных
электрических ПОЛЯХ. .
ОСНОВНЫЕ ВЫВОДЫ. .
УКАЗАТЕЛЬ ЛИТЕРАТУРЫ.
ВВВДЕНИЕ
Актуальность