ОГЛАВЛЕНИЕ
ВВЕДЕНИЕ.
ГЛАВА I. ИЗМЕНЕНИЯ СВОЙСТВ МНОП СТРУКТУР ПОД ВЛИЯНИЕМ
РАДИАЦИОННЫХ ВОЗДЕЙСТВИЙ .
I. Общие свойства МНОП структур
2. Изменения характеристик МДП структур при
облучении ионами и под действием
электромагнитного излучения
1. Изменение свойств диэлектрических пленок
.4 при. облучении ионами
2. Влияние мощного лазерного излучения на характеристики аморфных диэлектриков .
3. Облучение МДП структур ультрафиолетовыми
и рентгеновскими лучами .
ГЛАВА 2. МЕТОДИКИ ЭКСПЕРИМЕНТОВ
I. Образцы для исследований .
2. Контактные устройства для измерений
1. Электрофизические измерения .
2. Измерения пористости
3. Методики электрофизических измерений .
4. Измерение однородности характеристик
МНОП структур по площади
5. Методика высокотемпературного травления
в .
ГЛАВА 3. ВЛИЯНИЕ ЖЕСТКОГО ЭЛЕКТРОМАГНИТНОГО ИЗЛУЧЕНИЯ
НА ХАРАКТЕРИСТИКИ МНОП СТРУКТУР
I. Изменение характеристик аморфного нитрида
кремния под действием рентгеновских лучей .
2. Влияние ультрафиолетового излучения на
свойства нитрида кремния.
3. Кинетика заполнения ловушек в i4 при
облучении.
ГЛАВА 4. ИЗМЕНЕНИЯ В МНОП СТРУКТУРАХ В ПРОЦЕССЕ
ИМПЛАНТАЦИИ ИОНАМИ И ПРИ ЛАЗЕРНОМ ОТЖИГЕ .
I. Влияние облучения бором и фосфором
на свойства нитрида кремния
2. Влияние мощного лазерного излучения на характеристики тонких пленок
нитрида кремния .
3. Структурные превращения в аморфных пленках нитрида кремния при отжиге в хлористом
водороде
ВЫВОДЫ .
ПУБЛИКАЦИИ ПО ТЕМЕ ДИССЕРТАЦИИ 6
ЛИТЕРАТУРА
- Київ+380960830922