Автоматизация контроля скоростей распыления и осаждения тонких пленок методом электронно-эмиссионной спектроскопии при магнетронном нанесении

СОДЕРЖАНИЕ
ВВЕДЕНИЕ
ГЛАВА 1. ОБЗОР И АНАЛИЗ МЕТОДОВ КОНТРОЛЯ СКОРОСТИ ОСАЖДЕНИЯ ПОКРЫТИЙ, НАНОСИМЫХ В ВАКУУМЕ.
ПОСТАНОВКА ЗАДАЧИ ИССЕДОВАНИЙ
1.1 Классификация известных методов контроля скорости осаждения, наносимых в вакууме
1.2 Методы и устройства контроля параметров технологического процесса осаждения покрытий
1.2.1 Обзор дифференциальных методов контроля скорости осаждения покрытий
1.2.2 Обзор прямых методов контроля скорости нанесения покрытий
1.3 Сравнение косвенных и прямых методов контроля скорости осаждения материала
1.4 Формулировка задачи исследования
1.5 Выводы по первой главе и постановка задач исследований ГЛАВА 2. ТЕОРЕТИЧЕСКИЙ АНАЛИЗ МЕТОДА ЭЛЕКТРОННОЭМИССИОННОГО СПЕКТРОСКОПИИ, ПРИМЕНЯЕМОГО ДЛЯ КОНТРОЛЯ СКОРОСТИ ОСАЖДЕНИЯ И АНАЛИЗА СОСТАВА ПОКРЫТИЙ. РАЗРАБОТКА КОНСТРУКЦИИ ЭЛЕКТРОННОЭМИССИОННОГО ДАТЧИКА
2.1 Анализ процессов, происходящих при магнетронном распылении
2.1.1 Исследование основных особенностей работы магнетронной распылительной системы
2.1.2 Движение заряженных частиц в плазме
2.1.3 Зависимость скорости распыления материалов от основных параметров технологического процесса
2.1.4 Математическая модель магнетронной системы, характеризующая число возбуждений распыленных атомов
2.2 Электронноэмиссионный датчик скорости распыления материала
2.2.1 Конструкция электронноэмиссионного датчика скорости распыления материала
2.2.2 Математическая модель электронноэмиссионного датчика
2.2.3 Статические и динамические параметры датчика
2.3 Выводы по второй главе
ГЛАВА 3. РАЗРАБОТКА И ИССЛЕДОВАНИЕ АВТОМАТИЗИРОВАННОЙ СИСТЕМЫ КОНТРОЛЯ СКОРОСТЕЙ РАСПЫЛЕНИЯ И ОСАЖДЕНИЯ МАТЕРИАЛА
3.1 Разработка аппаратной части АСК ТП
3.1.1 Анализ распределенных систем вводавывода
3.1.2 Структура АСК ТП.
3.1.3 Измерение скоростей распыления и осаждения материала
3.1.4 Измерение сопротивления резистивного свидетеля
3.2 Разработка программного обеспечения АСК ТП
3.3 Выводы по третьей главе
ГЛАВА 4. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ ЭЛЕКТРОННОЭМИССИОННОГО ДАТЧИКА И АВТОМАТИЗИРОВАННОЙ СИСТЕМЫ КОНТРОЛЯ СКОРОСТЕЙ РАСПЫЛЕНИЯ И ОСАЖДЕНИЯ МАТЕРИАЛА В ВАКУУМЕ
4.1 Конструкция электронноэмиссионного датчика
4.2 Устройство сопряжения датчиков с ПЭВМ
4.3 Программное обеспечение АСК ТП
4.4 Результаты проведения испытаний АСК ТП на базе электронноэмиссионного датчика
4.5 Выводы по четвертой главе
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
СПИСОК ИСПОЛЬЗОВАННЫХ ИСТОЧНИКОВ