Чувствительные элементы интегральных датчиков водорода на основе МДП-транзисторов

ВВЕДЕНИЕ.
Глава 1. ЭЛЕМЕНТЫ И ХАРАКТЕРИСТИКИ ГАЗОЧУВСТВИТБЛЬНЫХ ИНТЕГ РАЛЬНЫХ ДАТЧИКОВ И МИКРОСИСТЕМ .
1.1. Микроэлектронные средства измерения концентраций газов
1.1.1. Структурно функциональные схемы газоаналитических микросистем и приборов.
1.1.2. Конструктивнотехнологические решения создания измерительных устройств и систем в интеральном исполнении.
1. 1.3. Интегральные датчики и их структура
1.2. Чувствительные и актюзторные элементы интегральных датчиков концентраций газов
1.2.1 .Чувствительные элементы резисторного и резисторномкостного типа
1.2.2. Каталитические и электрохимические чувствительные элементы.
1.2.3. Массочувствитсльные чувствительные элементы
1.2.4. Чувствительные элементы на основе диодов Шотки.
1.2.5. Чувствительные элементы на основе МДПструктур.
1.2.6. Оптические и оптоволоконные чувствительные элементы
1.2.7.1 агревательные актюаторные элементы
1.3. Характеристики газочувствительных интегральных датчиков.
1.3.1. Метрологические характеристики датчиков.
1.3.2. Эксплуатационные характеристики и особенности газочувствительных интегральных датчиков.
1.3.3. Пути и проблемы создания интегральных датчиков концентрации га зов.
1.4. Выводы.
Глава 2. МДПТРАНЗИСТОРНЫЕ ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ ИНТЕГРАЛЬНЫХ ДАТЧИКОВ ВОДОРОДА И ИХ ХАРАКТЕРИСТИКИ
2.1. МДГ1транзистор как чувствительный элемент датчиков.
2.2. Характеристики газочувствитсльных МДПТЧЭ
2.2.1. Метрологические характеристики газочувствительных МДПТЧЭ.
2.2.2. Конструктивнотехнологические характеристики МДПТЧЭ газочувствительных интсральньх датчиков
2.3. Характеристики МДтранзисторных чувствительных элементов интсгратьных датчиков водорода серий ИДВ.
2.3.1. Интегральные датчики водорода серии ИДВ1
2.3.2. Интегральные датчики водорода серии ИДВ2
2.3.3. Интегральные датчики водорода серии ИДВ3
2.4. Выводы .
Глава 3. МЕТОДИКА, СРЕДСТВА И РЕЗУЛЬТАТЫ ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫХ ИССЛЕДОВАНИЙ ХАРАКТЕРИСТИК МДПТРАНЗИСТОРНЫХ ЧУВСТВИТЕЛЬНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ.
3.1. Общая методика экспериментальных исследований характеристик ИДВ.
3.2. Измерительный комплекс для исследования характеристик ИДВ.
3.3. Результаты экспериментальных исследований характеристик ТЧЭ
3.3.1. Отклики ТЧЭ.
3.3.2. Физикоматематическая модель откликов ТЧЭ.
3.3.3. Основные метрологические и эксплуатационные характеристики
3.3.4. Оценка вклада различных факторов в полную погрешность измерения концентрации водорода датчиком на основе ТЧЭ
3.3.5. Влияние дрейфа начального значения порогового напряжения.
3.3.6. Влияние температуры кристалла.
3.3.7. Влияние электрического режима работы ТЧЭ
3.3.8. Влияние водорода на другие элементы базовой ячейки ИДВ3
3.3.9. Влияние световых излучений на характеристики ТЧЭ
3.3Влияние других газов на характеристики ТЧЭ.
3.3. .Результаты долговременных испытаний ТЧЭ
3.4. Выводы.
Глава 4. АНАЛИЗ СХЕМ ВКЛЮЧЕНИЯ МДПТРАНЗИСТОРНЫХ ЧУВСТВИТЕЛЬНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ В ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЕ ЦЕПИ
4.1. Базовые схемные конфигурации
4.2. Расчт основных характеристик схем включения ТЧЭ
4.3. Обсуждение результатов анализа характеристик схем.
4.4. Выводы.
Глава 5. МЕТОДИКИ ОПТИМАЛЬНОГО ВЫБОРА СХЕМ И ЭЛЕКТРИЧЕСКИХ РЕЖИМОВ РАБОТЫ МДПТРАНЗИСТОРНЫХ ЧУВСТВИТЕЛЬНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ ИНТЕГРАЛЬНЫХ ДАТЧИКОВ.
5.1. Выбор рабочих электрических режимов для схемы 1.
5.2. Выбор рабочих электрических режимов для схем 2 5 и 8
5.2.1. Повышение чувствительности датчика
5.2.2. Повышение крутизны переходной характеристики латника
5.2.3. Линеаризация передаточной характеристики датчика.
5.2.4. Уменьшение порога чувствительности датчика.
5.2.5. Уменьшение погрешности влияющих величин.
5.3. Рекомендации по практическому применению ТЧЭ в интегральных датчиках и приборах
5.4. Выводы.
ЗАКЛЮЧЕНИЕ .
СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ