Атомно-силовая микроскопия в исследовании шероховатости наноструктурированных поверхностей

Оглавление
Введение.
1 Литературный обзор
1.1 Атомносиловая микроскопия
1.2 Аналитический обзор методик анализа статистических свойств
наноструктурированных поверхностей по данным АСМ
1.3 Методы изучения рельефа поверхности, основаные на
взаимодействии электромагнитного излучения с шероховатой границей
раздела фаз.
1.4 Вопросы исследования и использования многослойных
интерференционных зеркал
2 Методическая часть.
2.1 Атомносиловая микроскопия.
2.2 Рентгеновское рассеяние
2.3 Оптические измерения.
2.4 Образцы
3 Экспериментальные результаты.
3.1 Учет артефактов АСМ при расчете параметров шероховатости
сверхгладких поверхностей.
3.2 Влияние статического заряда поверхности диэлектрических
материалов на достоверность данных АСМ
3.3 Комплексное исследование поверхностных нанострукгур методами
атомносиловой микроскопии, рентгеновского рассеяния и дифференциального рассеяния света.
3.4 Корреляция рельефа пленочного покрытия и подложки в
интерференционных зерклах оптического диапазона
Основные результаты и выводы.
Благодарности
Литература