Вы здесь

Построение исполнительных систем оборудования электронной техники на основе волнового движения

Автор: 

Василенко Николай Васильевич

Тип работы: 

докторская

Год: 

1999

Количество страниц: 

430

Артикул:

1000262022

179 грн

Добавить в корзину

• 
• 
• 

Рекомендуемые диссертации

• Система диагностики механических элементов вакуумного оборудования
• Разработка перспективных методов литографии для получения рисунка на внутренней поверхности дефлектрона
• Теоретические и экспериментальные исследования ионизационных преобразователей давления с целью расширения диапазона измерения и создания нового поколения высоковакуумных и сверхвысоковакуумных ионизационных преобразователей давления общего и специального назначения
• Исследование и разработка пространственных колебательных систем для балансировки неуравновешенных роторов оборудования чистых производств
• Моделирование и разработка широкоугольных электронно-оптических систем прецизионного электронно-лучевого оборудования
• Моделирование и проектирование электронно-оптических систем оборудования для электронной литографии
• Теоретические и экспериментальные исследования ионизационных преобразователей давления с целью расширения диапазона измерения и создания нового поколения высоковакуумных и сверхвысоковакуумных ионизационных преобразователей давления общего и специального
• Повышение надежности высоковакуумных механизмов на основе учета влияния обезгаживающего прогрева
• Теплофизические исследования и разработка реакторного блока установки быстрой термической обработки
• Разработка методики оценки допустимых уровней дефектности тонких металлических пленок : Применительно к сборке ИС в полимерные корпуса