Оглавление
Введение.
1 Глава I. Аналитический обзор состояние вопроса, актуальность работы,
принципиальные и технические проблемы
1.1 Автоэлектронная эмиссия.
1.2 Проблемы, связанные с разработкой вакуумных и твердотельных
сильноточных диодов.
1.3 Углеродные материалы в электронике.
2 Глава II. Экспериментальные исследования архитектура автоэмиссионной
структуры, используемые методики, технолог ии и оборудование
2.1 Установка для формирования автоэмиссионных сред
2.2 Модернизация блока питания ИК нагрева
2.3 Отработка технологических параметров формирования автоэмиссионных
2.3.1 Формирование массивов из наноразмерных конусов да1ее НС в твердых
пленках.
2.3.1.1 Постановка задачи
2.3.1.2 Физикоматематическая модель формирования наноразмерных
областей .
2.3.1.3 Массоиеренос вещества в пленке.
2.3.1.4 Случай толстой пленки
2.3.1.5 Случай пленки наноразмерной толщины
2.4 Формирование наноразмерных объектов наноструктурирование с
использованием процессов плазменного травления и маскирующих
наноразмерных капель
2.4.1 Архитектура используемых пленок.
2.4.2 Техмаршрут формирования наноструктурированных сред
2.4.3 Оптимизация технологических параметров технологического маршрута
формирования наноструктурированных сред.
2.5 Формирование матричных структур из массивов наноразмерных конусов.
2.6 Формирование массивов из наноразмерных конусов поликристаллического карбида кремния на подложке
2.7 Формирование гетероструктуры папо алмаз и твердотельного
автоэмиссионного диода на его основе
3 Глава III. Электрофизические исследования полученных наноструктур и
твердотельных автоэмиссионных диодов на их основе
3.1 Результаты физических исследований наноструктурироваиных
поверхностей с использованием РЭМ и РМА
3.2 Исследования на
3 3 Речупктяты ПЭМ исспеягтаний
3.4 Результаты физических исследований гетерострукгур папо алмаз и
твердотельного автоэмиссионного диода на его основе
3.4.1 Исследования физических исследований автоэмиссионных диодов на
.. vv папо i алмаз
3.5 Исследования электрофизических свойств эмиссионных структур
3.5.1 Теоретический анализ автоэмиссионных свойств из объектов
наноструктурированной среды
3.5.1.1 Случай средних полей Е01г
3.5.1.2 Случай сильных полей ЕоЕ
3.5.2 Экспериментальные исследования автоэмиссии электронов с
поверхностей с массивами из нанообъектов
3.5.3 ВАХ диодов на основе гстсроструктур папо алмаз
Основные результаты и выводы
Благодарности
Список публикаций по теме диссертации
Список цитируемой литературы
- Київ+380960830922