Вы здесь

Исследование процесса формирования изображения мягким рентгеновским и вакуумным ультрафиолетовым излучением в микролитографии

Автор: 
Душенков Сергей Дмитриевич
Тип работы: 
кандидатская
Год: 
1985
Количество страниц: 
141
Артикул:
233288
129 грн
(417 руб)
Добавить в корзину

Содержимое

ОГЛАВЛЕНИЕ
ВВЕДЕНИЕ
ГЛАВА I. Воздействие излучений на полимерные материалы.
Методы фото и рентгеновской литографии.
Обзор литературы
1.1. Общая характеристика процессов, происходящих в полимерах при поглощении квантов мягкого рентгеновского и ультрафиолетового излучения
1.2. Физические изменения, происходящие в полимерах при облучении. Радиационная стойкость полимеров .
1.3. Методы фото и рентгеновской литографии
1.4. Фото и рентгеновские резисты в микролитографии
ГЛАВА П. Источники излучения. Экспериментальные
методы .
2.1. Источник мягкого рентгеновского излучения
2.2. Источник вакуумного ультрафиолетового излучения
2.3. Применение ядерных фильтров в качестве тестовых шаблонов в фото и рентгенолитографии
2.4. Дозиметрия мягкого рентгеновского излучения и вакуумного ультрафиолета, основанная на эффекте фототравления полимеров .
2.5. Характеристики исследуемых полимерных материалов .
ГЛАВА Ш. Исследование эффекта фототравления полимеров
под действием вакуумного ультрафиолетового и
мягкого рентгеновского излучения .
3.1. йототравление полимеров под действием вакуумного
ультрафиолетового излучения
3.2. Эффект травления полимеров под действием мягкого
рентгеновского излучения .
ГЛАВА 1У. Фототравление полимеров, предварительно облученных рентгеновским излучением, электронами
или ионами высоких энергий
ГЛАВА У. Использование явления фототравления полимеров
для воспроизведения изображений микроструктур.III
5.1. Использование фототравления для формирования изображений микроструктур вакуумным ультрафиолетовым излучением III
5.2. Использование фототравления полимеров в рентгеновской и электронной литографии
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
ЛИТЕРАТУРА