СОДЕРЖАНИЕ
ВВЕДЕНИЕ
ГЛАВА 1. СОВРЕМЕННОЕ СОСТОЯНИЕ С ОБЕСПЕЧЕНИЕМ
КАЧЕСТВА СОЕДИНЕНИЙ ВНУТРЕННИХ ВЫВОДОВ НА КРИСТАЛЛАХ СИЛОВЫХ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ
1.1. Анализ способов и режимов монтажа внутренних выводов в производстве СПП
1.1.1. Сварка ленточных выводов СПП
1.2. Инструмент для присоединения внутренних выводов
1.2.1. Инструмент для сварки внутренних выводов в глубоких полостях и корпусах.
1.3. Алюминиевая металлизация на кристаллах СПП.
1.4. Микротвердость пленочной металлизации
1.5. Коррозионная устойчивость алюминиевой металлизации контактных площадок кристаллов
1.6. Переходное сопротивление контактов проводник металлизация СПП.
1.7. Методы, приборы и оборудование, используемые
для экспериментальных исследований.
Выводы и постановка задач для исследований и разработок
ГЛАВА 2. ИССЛЕДОВАНИЕ ДВУХСЛОЙНОЙ АЛЮМИНИЕВОЙ
МЕТАЛЛИЗАЦИИ КОНТАКТНЫХ ПЛОЩАДОК КРИСТАЛЛОВ СИЛОВЫХ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ
2.1. Исследование структуры алюминиевой металлизации
с нижним слоем, легированным никелем и титаном.
2.2. Микрорентгеноспектральный анализ
алюминиевой металлизации.
2.3. Микротвердость алюминиевой металлизации.
2.4. Коррозионная устойчивость алюминиевой
металлизации.
2.5. Поверхностное и удельное сопротивление
алюминиевой металлизации.
ГЛАВА 3. ВЛИЯНИЕ КОНСТРУКТИВНО ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ФАКТОРОВ НА КАЧЕСТВО СВАРНЫХ СОЕДИНЕНИЙ ВЫВОДОВ С КОНТАКТНЫМИ ПЛОЩАДКАМИ КРИСТАЛЛОВ СПП
3.1. Прочность соединений алюминиевой проволоки
с двухслойной алюминиевой металлизацией с нижним
слоем, легированным никелем и титаном
3.2. Прочность соединений алюминиевой ленты
с двухслойной алюминиевой металлизацией с нижним
слоем, легированным никелем и титаном
3.3. Сопротивление контактов алюминиевый выводалюминиевая металлизация на кристаллах СПП
3.4. Оптимизация режимов УЗС проволоки и ленты из алюминия к кристаллам.
3.4.1. УЗС алюминиевой проволоки к кристаллам
с алюминиевой металлизацией
3.4.2. УЗС алюминиевой ленты к кристаллам
с алюминиевой металлизацией
3.5. От проволочного монтажа к НАКВ процессу
3.5.1. Термозвукоимпульсная сварка ленточных выводов
3.5.2. Дислокационная структура в кремнии после
имитации УЗС внутренних выводов
Выводы.
ГЛАВА 4. ПРАКТИЧЕСКОЕ ПРИМЕНЕНИЕ РЕЗУЛЬТАТОВ ИССЛЕДОВАНИЙ В ПРОИЗВОДСТВЕ СИЛОВЫХ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ.
4.1. Расчет концентратора для установки ультразвуковой сварки
4.2. Расчет конструкции инструмента для установки ультразвуковой сварки
4.2.1. Передача энергии УЗ колебаний в зону сварки
4.2.2. Расчет геометрических размеров инструмента.
4.3. Контроль прочности соединений в СПП.
4.4. Разработка способа нанесения пленочной металлизации
на обратную поверхность кристаллов в составе пластины.
Выводы.
ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ И ВЫВОДЫ
ЛИТЕРАТУРА
- Київ+380960830922