Содержание
Глава 1. Литературный обзор
1.1. Способы получения пористого кремния
1.2. Механизм химического травления кремния
1.3. Механизмы формирования БЕплснок
1.4. Порообразование в кремнийгерманиевых сплавах
1.5. Исследование структуры и состава БЕпленок
1.6. Фотолюминесцентные свойства пористого кремния
1.7. Электрические свойства пористого кремния
1.8. Способы диэлектрической изоляции активных элементов интегральных микросхем
1.9. Выводы и постановка задачи
Глава 2. Исследование особенностей формировании пористого
кремния в водных растворах плавиковой и азотной кислот
2.1. Методики приготовления и исследования образцов
2.2. Травление кремния в растворах с повышенным содержанием
азотной кислоты
2.3. Травление кремния в растворах с повышенным содержанием
плавиковой кислоты
2.4. Выводы
Глава 3. Исследование влияния упругих напряжений
на процессы порообразования
3.1 Влияние упругих напряжений на процесс образования
8Епористого кремния . .
3.2. Влияние дозы имплантации ионами инертного газа аргона
на БЕпроцесс
3.3. Выводы
Глава 4. Методы формирования локальных пористых слоев
4.1. Формирование локальных пористых областей в кремнии путем имплантации
ионов с последующим неоднородным химическим травлением
4.2. Формирование локальных пористых областей при
помощи неоднородного химического травления через маски
4.3. Выводы
Глава 5. Исследование возможности использования локальных нанопористых слоев для латеральной изоляции элементов СБИС с мелкозалегающими кремниевыми и многослойными
германийкремнкевыми структурами
5.1. Исследование резистивных тестовых структур на основе Б
52. Исследование резистивных тестовых структур на основе Ое
5.3. Анализ выходных статических характеристик МОПтранзисторных структур на основе гстероэпитаксиапьных БЗСе пленок, изготовленных по технологии латерального разделения мезаканавками
и пористыми пленками
5.4. Выводы
Заключение
Список литературы
- Київ+380960830922